公开(公告)号：US20060169913A1

公开(公告)日：2006-08-03

申请号：US11047877

申请日：2005-02-02

申请人： Barry Hopkins ,  David Ray ,  Jeffrey LeClaire ,  Roy White

发明人： Barry Hopkins ,  David Ray ,  Jeffrey LeClaire ,  Roy White

IPC分类号： G01K1/08

CPC分类号： H01L21/30608 ,  H01L21/31111 ,  H01L21/316 ,  H01L21/3185 ,  H01L21/32134 ,  H01L21/76892

摘要： A method and apparatus includes positioning a reactant on a surface in specific location and then directing an energy source from a device at the reactant such that it modifies the surface to either remove material or add material.

公开(公告)号：US20070181545A1

公开(公告)日：2007-08-09

申请号：US11347575

申请日：2006-02-06

申请人： James Boyette ,  Jeffrey LeClaire ,  Roy White

发明人： James Boyette ,  Jeffrey LeClaire ,  Roy White

IPC分类号： B23K26/08

CPC分类号： B23K26/0861 ,  B23K26/0624 ,  B23K26/40 ,  B23K2103/50

摘要： A method and system includes the accurate positioning of a sample in a multi-axis range of motion. In a preferred embodiment, the present invention enables this movement by combining coarse and fine motion stages. By using a combination of stages and precise measuring means, normal and typical errors are significantly reduced.

摘要翻译： 一种方法和系统包括样品在多轴运动范围内的精确定位。 在一个优选实施例中，本发明通过组合粗略和细微运动级来实现这一运动。 通过使用阶段和精确的测量手段的组合，正常和典型的误差显着降低。

公开(公告)号：US20060211252A1

公开(公告)日：2006-09-21

申请号：US11415203

申请日：2006-05-02

申请人： Barry Hopkins ,  David Ray ,  Jeffrey LeClaire ,  Roy White

发明人： Barry Hopkins ,  David Ray ,  Jeffrey LeClaire ,  Roy White

IPC分类号： H01L21/302 ,  H01L21/461

CPC分类号： H01L21/30608 ,  H01L21/31111 ,  H01L21/316 ,  H01L21/3185 ,  H01L21/32134 ,  H01L21/76892

摘要： A method and apparatus includes positioning a reactant on a surface in specific location and then directing an energy source from a device at the reactant such that it modifies the surface to either remove material or add material.