公开(公告)号：US07107901B2

公开(公告)日：2006-09-19

申请号：US10685202

申请日：2003-10-14

申请人： Raschid J Bezama ,  William W Harkins ,  David C Long ,  Jason S Miller ,  Christopher E Pepe ,  Ronald M Rothkranz ,  John A Rudy ,  Benjamin P Tongue

发明人： Raschid J Bezama ,  William W Harkins ,  David C Long ,  Jason S Miller ,  Christopher E Pepe ,  Ronald M Rothkranz ,  John A Rudy ,  Benjamin P Tongue

IPC分类号： B41L13/00

CPC分类号： B41F15/12 ,  B41P2235/00 ,  H05K3/1225 ,  H05K2203/1121

摘要： A method and apparatus for the rapid cooling of screen masks used in the fabrication of semiconductor components is provided. The method and apparatus use a specially designed cooling plate which is contacted with a mask frame holding the screening mask. After a heated cleaning step which cleans the mask frame and screening mask of metal paste used in the screening operation, the cooling plate having one or more concave lower surfaces contacts the upper surfaces of the mask frame and bends the mask frame in the shape of the concave surfaces. This ensures intimate contact between the cooling plate and mask frame and enhances the thermal efficiency of the cooling step.

摘要翻译： 提供了用于半导体部件制造中使用的屏蔽掩模的快速冷却的方法和装置。 该方法和装置使用专门设计的冷却板，该冷却板与保持屏蔽罩的面罩框架相接触。 在清洗掩模框架并筛选用于筛选操作的金属膏的掩模的加热清洁步骤之后，具有一个或多个凹下表面的冷却板接触荫罩框架的上表面，并将面罩框架弯曲成 凹面。 这确保了冷却板和掩模框架之间的紧密接触，并提高了冷却步骤的热效率。

公开(公告)号：US08666529B2

公开(公告)日：2014-03-04

申请号：US12869973

申请日：2010-08-27

申请人： Rebekah M. Keyser ,  John A. Rudy ,  Brian J. Wazewski

发明人： Rebekah M. Keyser ,  John A. Rudy ,  Brian J. Wazewski

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B19/41875 ,  G05B2219/31413 ,  G05B2219/32324 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/22

摘要： A method of controlling a quantity of non-process of record (POR) process limiting yield (PLY) inspections in wafer processing includes setting aside planned capacity for non-POR work, upon receipt of a request for non-POR work, estimating a time required for completion of the request and comparing the estimated time against a remainder of the set aside planned capacity, approving the request in an event the comparison indicates that the estimated time is available in the set aside planned capacity and rejecting the request in an event the comparison indicates that the estimated time is not available in the set aside planned capacity.

摘要翻译： 控制晶片处理中的非处理记录（POR）处理限制产量（PLY）检查的方法包括：在接收到非POR工作请求之后，为非POR工作预留计划容量，估计时间 要求完成请求，并将估计的时间与预留的计划容量的剩余部分进行比较，在比较表明预定的时间在预留的计划容量中可用的情况下批准请求，并且在事件中拒绝该请求的情况下批准该请求 比较表明预计时间在预定的计划容量中不可用。

公开(公告)号：US20120053722A1

公开(公告)日：2012-03-01

申请号：US12869973

申请日：2010-08-27

申请人： Rebekah M. Keyser ,  John A. Rudy ,  Brian J. Wazewski

发明人： Rebekah M. Keyser ,  John A. Rudy ,  Brian J. Wazewski

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B19/41875 ,  G05B2219/31413 ,  G05B2219/32324 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/22

摘要： A method of controlling a quantity of non-process of record (POR) process limiting yield (PLY) inspections in wafer processing includes setting aside planned capacity for non-POR work, upon receipt of a request for non-POR work, estimating a time required for completion of the request and comparing the estimated time against a remainder of the set aside planned capacity, approving the request in an event the comparison indicates that the estimated time is available in the set aside planned capacity and rejecting the request in an event the comparison indicates that the estimated time is not available in the set aside planned capacity.

摘要翻译： 控制晶片处理中的非处理记录（POR）处理限制产量（PLY）检查的方法包括：在接收到非POR工作请求之后，为非POR工作预留计划容量，估计时间 要求完成请求，并将估计的时间与预留的计划容量的剩余部分进行比较，在比较表明预定的时间在预留的计划容量中可用的情况下批准请求，并且在事件中拒绝该请求的情况下批准该请求 比较表明预计时间在预定的计划容量中不可用。