公开(公告)号：US06269822B1

公开(公告)日：2001-08-07

申请号：US09171271

申请日：1999-03-22

申请人： Jurgen Funkhanel ,  Dieter Meister ,  Martin Weber ,  Felix Wehrle

发明人： Jurgen Funkhanel ,  Dieter Meister ,  Martin Weber ,  Felix Wehrle

IPC分类号： B08B304

CPC分类号： H01L21/67757 ,  H01L21/67057 ,  Y10S68/902

摘要： In a device for the wet treatment of substrates (3) in a container (1), containing a treatment fluid (2), whereby the substrates (3) are introduced into the container (1) with a substrate carrier (5), an optimal alignment and centering of the substrates (3) will result within the container (1) upon lifting from the container (1) with the aid of a substrate receiving device (4) provided within the container (1).

摘要翻译： 在用于湿处理容器（1）中的基材（3）的装置中，包含处理流体（2），由此基板（3）用基板载体（5）引入到容器（1）中， 借助于设置在容器（1）内的基板接收装置（4），从容器（1）提起时，基板（3）的最佳对准和定心将导致容器（1）内。