公开(公告)号：US06927181B2

公开(公告)日：2005-08-09

申请号：US10930952

申请日：2004-09-01

申请人： Hitoshi Wakizako ,  Kazunari Shiraishi ,  Yukito Sagasaki ,  Ken-ichi Motonaga ,  Kazunori Hino ,  Hiroki Sanemasa

发明人： Hitoshi Wakizako ,  Kazunari Shiraishi ,  Yukito Sagasaki ,  Ken-ichi Motonaga ,  Kazunori Hino ,  Hiroki Sanemasa

IPC分类号： B25J13/08 ,  B25J9/04 ,  B25J18/04 ,  B25J19/02 ,  B25J19/04 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07 ,  H01L21/00 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  H01L31/0232

CPC分类号： H01L21/67265 ,  B25J9/042 ,  B25J18/04 ,  B25J19/023 ,  B65G49/067 ,  B65G2249/02 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/136 ,  Y10S414/137 ,  Y10S414/138 ,  Y10S414/14 ,  Y10T29/41

摘要： A transfer robot (5) for thin substrate capable of efficiently detecting the stored state of thin substrates and an inspection method for thin substrate capable of accurately detecting the stored state of thin substrates; the robot (5), comprising an inspection camera (1) for detecting the stored state of the thin substrates (3) in a storage cassette (2), wherein the plurality of thin substrates (3) stored in the storage cassette (2) are carried out from the storage cassette (2) by the robot.

摘要翻译： 一种能够有效地检测薄基板的存储状态的薄基板传送机器人（5）和能够精确地检测薄基板的存储状态的薄基板检查方法。 所述机器人（5）包括用于检测存储盒（2）中的薄基板（3）的存储状态的检查照相机（1），其中存储在所述存储盒（2）中的所述多个薄基板（3） 通过机器人从存储盒（2）进行。

公开(公告)号：US20050036863A1

公开(公告)日：2005-02-17

申请号：US10930952

申请日：2004-09-01

申请人： Hitoshi Wakizako ,  Kazunari Shiraishi ,  Yukito Sagasaki ,  Ken-ichi Motonaga ,  Kazunori Hino ,  Hiroki Sanemasa

发明人： Hitoshi Wakizako ,  Kazunari Shiraishi ,  Yukito Sagasaki ,  Ken-ichi Motonaga ,  Kazunori Hino ,  Hiroki Sanemasa

IPC分类号： B25J13/08 ,  B25J9/04 ,  B25J18/04 ,  B25J19/02 ,  B25J19/04 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07 ,  H01L21/00 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  B65H1/00 ,  B62B1/06

CPC分类号： H01L21/67265 ,  B25J9/042 ,  B25J18/04 ,  B25J19/023 ,  B65G49/067 ,  B65G2249/02 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/136 ,  Y10S414/137 ,  Y10S414/138 ,  Y10S414/14 ,  Y10T29/41

摘要： A transfer robot (5) for thin substrate capable of efficiently detecting the stored state of thin substrates and an inspection method for thin substrate capable of accurately detecting the stored state of thin substrates; the robot (5), comprising an inspection camera (1) for detecting the stored state of the thin substrates (3) in a storage cassette (2), wherein the plurality of thin substrates (3) stored in the storage cassette (2) are carried out from the storage cassette (2) by the robot.

摘要翻译： 一种能够有效地检测薄基板的存储状态的薄基板传送机器人（5）和能够精确地检测薄基板的存储状态的薄基板检查方法。 所述机器人（5）包括用于检测存储盒（2）中的薄基板（3）的存储状态的检查照相机（1），其中存储在所述存储盒（2）中的所述多个薄基板（3） 通过机器人从存储盒（2）进行。

公开(公告)号：US07008884B2

公开(公告)日：2006-03-07

申请号：US10433333

申请日：2001-11-26

申请人： Hitoshi Wakizako ,  Kazunari Shiraishi ,  Yukito Sagasaki ,  Ken-ichi Motonaga ,  Kazunori Hino ,  Hiroki Sanemasa

发明人： Hitoshi Wakizako ,  Kazunari Shiraishi ,  Yukito Sagasaki ,  Ken-ichi Motonaga ,  Kazunori Hino ,  Hiroki Sanemasa

IPC分类号： H01L31/0232

CPC分类号： H01L21/67265 ,  B25J9/042 ,  B25J18/04 ,  B25J19/023 ,  B65G49/067 ,  B65G2249/02 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/136 ,  Y10S414/137 ,  Y10S414/138 ,  Y10S414/14 ,  Y10T29/41

摘要： A transfer robot (5) for thin substrate capable of efficiently detecting the stored state of thin substrates and an inspection method for thin substrate capable of accurately detecting the stored state of thin substrates; the robot (5), comprising an inspection camera (1) for detecting the stored state of the thin substrates (3) in a storage cassette (2), wherein the plurality of thin substrates (3) stored in the storage cassette (2) are carried out from the storage cassette (2) by the robot.

摘要翻译： 一种能够有效地检测薄基板的存储状态的薄基板传送机器人（5）和能够精确地检测薄基板的存储状态的薄基板检查方法。 所述机器人（5）包括用于检测存储盒（2）中的薄基板（3）的存储状态的检查照相机（1），其中存储在所述存储盒（2）中的所述多个薄基板（3） 通过机器人从存储盒（2）进行。