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公开(公告)号：US20090168146A1
公开(公告)日：2009-07-02
申请号：US12344467
申请日：2008-12-27
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841
摘要： A stabilizer mechanism is coupled to a deformable element of a microelectromechanical device for reducing unwanted deformation of the deformable element by increasing the stiffness of the deformable element in selected other directions than the direction along which desired deformation is performed.
摘要翻译： 稳定器机构联接到微机电装置的可变形元件，用于通过增加可变元件在比所期望的变形进行的方向的选定的另外方向上的刚度来减少可变形元件的不必要的变形。
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2.发明授权Multilayered deformable element with reduced memory properties in a MEMS device 有权在MEMS器件中具有减小的记忆特性的多层可变形元件公开(公告)号：US08472100B2
公开(公告)日：2013-06-25
申请号：US12046598
申请日：2008-03-12
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841
摘要： A deformable element for use in microelectromechanical systems comprises a core layer and a protective layer. The protective layer is capable of deterring combinations of undesired chemical components in operational environments with the core layer of the deformable element.
摘要翻译： 用于微机电系统的可变形元件包括芯层和保护层。 保护层能够在操作环境中阻止可变形元件的芯层的不期望的化学成分的组合。
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公开(公告)号：US08059323B2
公开(公告)日：2011-11-15
申请号：US12344467
申请日：2008-12-27
CPC分类号： G02B26/0841
摘要： A stabilizer mechanism is coupled to a deformable element of a microelectromechanical device for reducing unwanted deformation of the deformable element by increasing the stiffness of the deformable element in selected other directions than the direction along which desired deformation is performed.
摘要翻译： 稳定器机构联接到微机电装置的可变形元件，用于通过增加可变元件在比所期望的变形进行的方向的选定的另外方向上的刚度来减少可变形元件的不必要的变形。
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4.发明申请MULTILAYERED DEFORMABLE ELEMENT WITH REDUCED MEMORY PROPERTIES IN A MEMS DEVICE 有权在MEMS器件中具有减少的存储器特性的多层可变元件公开(公告)号：US20090231673A1
公开(公告)日：2009-09-17
申请号：US12046598
申请日：2008-03-12
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841
摘要： A deformable element for use in microelectromechanical systems comprises a core layer and a protective layer. The protective layer is capable of deterring combinations of undesired chemical components in operational environments with the core layer of the deformable element.
摘要翻译： 用于微机电系统的可变形元件包括芯层和保护层。 保护层能够在操作环境中阻止可变形元件的芯层的不期望的化学成分的组合。
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公开(公告)号：US20100007936A1
公开(公告)日：2010-01-14
申请号：US12344526
申请日：2008-12-28
CPC分类号： B81B7/0003 , B29C33/38 , B81B3/0081 , B81B3/0086 , G02B26/08 , G02B26/0841 , Y10T428/24174 , Y10T428/24628 , Y10T428/24661
摘要： Disclosed herein is a dielectric microstructure with a substantially unit dielectric constant K for use in microelectromechanical systems.
摘要翻译： 本文公开了具有用于微机电系统的基本单位介电常数K的电介质微结构。
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