公开(公告)号：US20050052722A1

公开(公告)日：2005-03-10

申请号：US10179055

申请日：2002-10-01

申请人： Leslie Loo ,  Michal Lipson ,  Karen Gleason ,  Lionel Kimerling

发明人： Leslie Loo ,  Michal Lipson ,  Karen Gleason ,  Lionel Kimerling

IPC分类号： G02B6/12 ,  G02B6/122 ,  G02B6/13 ,  G02B26/00 ,  G02F1/03 ,  G02F1/07

CPC分类号： G02B6/122 ,  G02B6/13 ,  G02B26/001 ,  G02B2006/12109 ,  G02B2006/1213

摘要： An optical structure includes a substrate having two side surfaces. A first layer of high refractive index material is formed on the substrate. A sacrificial layer is formed on the first layer. A second layer of high refractive index material is formed on the sacrificial layer. At a predefined temperature the sacrificial layer is evaporated, thus forming an air gap between the first layer and the second layer.

摘要翻译： 光学结构包括具有两个侧面的基板。 在基板上形成第一层高折射率材料。 牺牲层形成在第一层上。 在牺牲层上形成第二层高折射率材料。 在预定温度下，牺牲层蒸发，从而在第一层和第二层之间形成气隙。