公开(公告)号：US08989479B2

公开(公告)日：2015-03-24

申请号：US13381696

申请日：2011-08-01

申请人： Lisheng Gao ,  Kenong Wu ,  Allen Park ,  Ellis Chang ,  Khurram Zafar ,  Junqing Huang ,  Ping Gu ,  Christopher Maher ,  Grace H. Chen ,  Songnian Rong ,  Liu-Ming Wu

发明人： Lisheng Gao ,  Kenong Wu ,  Allen Park ,  Ellis Chang ,  Khurram Zafar ,  Junqing Huang ,  Ping Gu ,  Christopher Maher ,  Grace H. Chen ,  Songnian Rong ,  Liu-Ming Wu

IPC分类号： G06K9/00 ,  G06T7/00

CPC分类号： G06T7/001 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/20021 ,  G06T2207/20056 ,  G06T2207/30148

摘要： The present invention includes searching imagery data in order to identify one or more patterned regions on a semiconductor wafer, generating one or more virtual Fourier filter (VFF) working areas, acquiring an initial set of imagery data from the VFF working areas, defining VFF training blocks within the identified patterned regions of the VFF working areas utilizing the initial set of imagery data, wherein each VFF training block is defined to encompass a portion of the identified patterned region displaying a selected repeating pattern, calculating an initial spectrum for each VFF training block utilizing the initial set of imagery data from the VFF training blocks, and generating a VFF for each training block by identifying frequencies of the initial spectrum having maxima in the frequency domain, wherein the VFF is configured to null the magnitude of the initial spectrum at the frequencies identified to display spectral maxima.

摘要翻译： 本发明包括搜索图像数据以便识别半导体晶片上的一个或多个图案化区域，生成一个或多个虚拟傅立叶滤波器（VFF）工作区域，从VFF工作区域获取初始图像数据集，定义VFF训练 利用初始的图像数据集，在VFF工作区域的所识别的图案化区域内的块，其中每个VFF训练块被定义为包含所识别的图案化区域的一部分，显示所选择的重复模式，计算每个VFF训练块的初始频谱 利用来自VFF训练块的初始图像数据组，以及通过识别在频域中具有最大值的初始频谱的频率，为每个训练块生成VFF，其中VFF被配置为在 识别出显示频谱最大值的频率。

公开(公告)号：US20120141013A1

公开(公告)日：2012-06-07

申请号：US13381696

申请日：2011-08-01

申请人： Lisheng Gao ,  Kenong Wu ,  Allen Park ,  Ellis Chang ,  Khurram Zafar ,  Junqing Huang ,  Ping Gu ,  Christopher Maher ,  Grace H. Chen ,  Songnian Rong ,  Liu-Ming Wu

发明人： Lisheng Gao ,  Kenong Wu ,  Allen Park ,  Ellis Chang ,  Khurram Zafar ,  Junqing Huang ,  Ping Gu ,  Christopher Maher ,  Grace H. Chen ,  Songnian Rong ,  Liu-Ming Wu

IPC分类号： G06K9/62

CPC分类号： G06T7/001 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/20021 ,  G06T2207/20056 ,  G06T2207/30148

摘要： The present invention includes searching imagery data in order to identify one or more patterned regions on a semiconductor wafer, generating one or more virtual Fourier filter (VFF) working areas, acquiring an initial set of imagery data from the VFF working areas, defining VFF training blocks within the identified patterned regions of the VFF working areas utilizing the initial set of imagery data, wherein each VFF training block is defined to encompass a portion of the identified patterned region displaying a selected repeating pattern, calculating an initial spectrum for each VFF training block utilizing the initial set of imagery data from the VFF training blocks, and generating a VFF for each training block by identifying frequencies of the initial spectrum having maxima in the frequency domain, wherein the VFF is configured to null the magnitude of the initial spectrum at the frequencies identified to display spectral maxima.

摘要翻译： 本发明包括搜索图像数据以便识别半导体晶片上的一个或多个图案化区域，生成一个或多个虚拟傅立叶滤波器（VFF）工作区域，从VFF工作区域获取初始图像数据集，定义VFF训练 利用初始的图像数据集，在VFF工作区域的所识别的图案化区域内的块，其中每个VFF训练块被定义为包含所识别的图案化区域的一部分，显示所选择的重复模式，计算每个VFF训练块的初始频谱 利用来自VFF训练块的初始图像数据组，以及通过识别在频域中具有最大值的初始频谱的频率，为每个训练块生成VFF，其中VFF被配置为在 识别出显示频谱最大值的频率。