公开(公告)号：US20080202414A1

公开(公告)日：2008-08-28

申请号：US11678215

申请日：2007-02-23

Applicant: Min Yan ,  Ahmet Gun Erlat ,  Marc Schaepkens ,  Tae Won Kim ,  Paul Alan McConnelee ,  Matthew Aaron Pellow

Inventor： Min Yan ,  Ahmet Gun Erlat ,  Marc Schaepkens ,  Tae Won Kim ,  Paul Alan McConnelee ,  Matthew Aaron Pellow

IPC: B05B5/12

CPC classification number: C23C16/045 ,  B05D1/60 ,  B05D7/02 ,  B05D7/227 ,  C23C16/45578 ,  C23C16/507

Abstract: Methods and devices for coating an interior surface of a container using ICPECVD are provided. In one embodiment, a method of coating an interior surface of a container comprises: depositing a barrier film on the interior surface of the container using inductively coupled plasma-enhanced chemical-vapor deposition.

Abstract translation: 提供了使用ICPECVD涂覆容器内表面的方法和装置。 在一个实施例中，涂覆容器的内表面的方法包括：使用电感耦合等离子体增强化学气相沉积将阻挡膜沉积在容器的内表面上。