公开(公告)号：US07952783B2

公开(公告)日：2011-05-31

申请号：US12235500

申请日：2008-09-22

申请人： Steve Holmes ,  Clint Charles Rollins ,  Margaret K. Brown ,  Michael L. Schaaf ,  Bruce C. Rothaar ,  Robert J. Jackson ,  Lifford McLauchlan ,  Mehrube Mehrubeoglu ,  Gregory Schneider

发明人： Steve Holmes ,  Clint Charles Rollins ,  Margaret K. Brown ,  Michael L. Schaaf ,  Bruce C. Rothaar ,  Robert J. Jackson ,  Lifford McLauchlan ,  Mehrube Mehrubeoglu ,  Gregory Schneider

IPC分类号： G02B26/08

CPC分类号： G02B26/121 ,  G05B13/024 ,  H02K41/0354 ,  H02P29/50

摘要： A scanning beam projection system includes a scanning mirror having a fast-scan axis and a slow-scan axis. Movement on the slow-scan axis is controlled by a slow-scan scanning mirror control system. The control system receives position information describing angular displacement of the mirror. An outer loop of the control system operates in the frequency domain and determines harmonic drive coefficients for a scanning mirror drive signal. An inner loop of the control system operates in the time domain and compensates for a scanning mirror resonant vibration mode at a frequency within the frequency band occupied by the harmonic drive coefficients.

摘要翻译： 扫描光束投影系统包括具有快速扫描轴和慢扫描轴的扫描镜。 慢扫描轴上的移动由慢扫描扫描镜控制系统控制。 控制系统接收描述镜的角位移的位置信息。 控制系统的外环在频域中工作，并确定扫描镜驱动信号的谐波驱动系数。 控制系统的内部环路在时域中工作，并且以谐波驱动系数占据的频带内的频率补偿扫描镜共振振动模式。

公开(公告)号：US20100073748A1

公开(公告)日：2010-03-25

申请号：US12235500

申请日：2008-09-22

申请人： Steve Holmes ,  Clint Charles Rollins ,  Margaret K. Brown ,  Michael L. Schaaf ,  Bruce C. Rothaar ,  Robert J. Jackson ,  Lifford McLauchlan ,  Mehrube Mehrubeoglu ,  Gregory Schneider

发明人： Steve Holmes ,  Clint Charles Rollins ,  Margaret K. Brown ,  Michael L. Schaaf ,  Bruce C. Rothaar ,  Robert J. Jackson ,  Lifford McLauchlan ,  Mehrube Mehrubeoglu ,  Gregory Schneider

IPC分类号： G02B26/10

CPC分类号： G02B26/121 ,  G05B13/024 ,  H02K41/0354 ,  H02P29/50

摘要： A scanning beam projection system includes a scanning mirror having a fast-scan axis and a slow-scan axis. Movement on the slow-scan axis is controlled by a slow-scan scanning mirror control system. The control system receives position information describing angular displacement of the mirror. An outer loop of the control system operates in the frequency domain and determines harmonic drive coefficients for a scanning mirror drive signal. An inner loop of the control system operates in the time domain and compensates for a scanning mirror resonant vibration mode at a frequency within the frequency band occupied by the harmonic drive coefficients.

摘要翻译： 扫描光束投影系统包括具有快速扫描轴和慢扫描轴的扫描镜。 慢扫描轴上的移动由慢扫描扫描镜控制系统控制。 控制系统接收描述镜的角位移的位置信息。 控制系统的外环在频域中工作，并确定扫描镜驱动信号的谐波驱动系数。 控制系统的内部环路在时域中工作，并且以谐波驱动系数占据的频带内的频率补偿扫描镜共振振动模式。