公开(公告)号：US08795539B2

公开(公告)日：2014-08-05

申请号：US13241905

申请日：2011-09-23

申请人： Su Mi Lee ,  Mio Hyuck Kang ,  Eun-Ae Kwak ,  Moon Gyu Lee ,  Bong-Jin Moon ,  Joona Bang ,  Hyun Jung Jung

发明人： Su Mi Lee ,  Mio Hyuck Kang ,  Eun-Ae Kwak ,  Moon Gyu Lee ,  Bong-Jin Moon ,  Joona Bang ,  Hyun Jung Jung

IPC分类号： C23F1/02

CPC分类号： B81C1/00031 ,  B81C2201/0149 ,  C08F293/005 ,  C08F2438/03 ,  C23F1/02 ,  G03F7/165

摘要： A method of forming patterns includes forming a layer composed of a ketene based random copolymer on a substrate, forming a block copolymer on the ketene based random copolymer layer and patterning the ketene based random copolymer layer by removing a part of the block copolymer and a portion of the ketene based random copolymer layer.

摘要翻译： 形成图案的方法包括在基材上形成由乙烯酮系无规共聚物构成的层，在基于乙烯酮的无规共聚物层上形成嵌段共聚物，并通过除去部分嵌段共聚物和乙烯基系无规共聚物层 的乙烯酮基无规共聚物层。

公开(公告)号：US20120080404A1

公开(公告)日：2012-04-05

申请号：US13241905

申请日：2011-09-23

申请人： Su Mi LEE ,  Mio Hyuck Kang ,  Eun-Ae Kwak ,  Moon Gyu Lee ,  Bong-Jin Moon ,  Joona Bang ,  Hyun Jung Jung

发明人： Su Mi LEE ,  Mio Hyuck Kang ,  Eun-Ae Kwak ,  Moon Gyu Lee ,  Bong-Jin Moon ,  Joona Bang ,  Hyun Jung Jung

IPC分类号： C23F1/02 ,  B05D3/10 ,  B05D3/00 ,  C08F224/00 ,  B05D5/00

CPC分类号： B81C1/00031 ,  B81C2201/0149 ,  C08F293/005 ,  C08F2438/03 ,  C23F1/02 ,  G03F7/165

摘要： A method of forming patterns includes forming a layer composed of a ketene based random copolymer on a substrate, forming a block copolymer on the ketene based random copolymer layer and patterning the ketene based random copolymer layer by removing a part of the block copolymer and a portion of the ketene based random copolymer layer.

摘要翻译： 形成图案的方法包括在基材上形成由乙烯酮系无规共聚物构成的层，在基于乙烯酮的无规共聚物层上形成嵌段共聚物，并通过除去部分嵌段共聚物和乙烯基系无规共聚物层 的乙烯酮基无规共聚物层。