公开(公告)号：US20090179267A1

公开(公告)日：2009-07-16

申请号：US12013101

申请日：2008-01-11

申请人： Michel J. Abou-Khalil ,  Robert J. Gauthier, JR. ,  Tom C. Lee ,  Junjun Li ,  Christopher S. Putnam ,  Mitra Souvick

发明人： Michel J. Abou-Khalil ,  Robert J. Gauthier, JR. ,  Tom C. Lee ,  Junjun Li ,  Christopher S. Putnam ,  Mitra Souvick

IPC分类号： H01L27/12 ,  H01L21/786

CPC分类号： H01L27/1203 ,  H01L21/84

摘要： High-voltage device structures, methods for fabricating such device structures using complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) processes, and design structures for high-voltage circuits. The planar device structure, which is formed using a semiconductor-on-insulator (SOI) substrate, includes a semiconductor body positioned between two gate electrodes. The gate electrodes and the semiconductor body may be formed from the monocrystalline SOI layer of the SOI substrate. A dielectric layer separates each of the gate electrodes from the semiconductor body. These dielectric layers are formed by defining trenches in the SOI layer and filling the trenches with a dielectric material, which may occur concurrent with a process forming device isolation regions.

摘要翻译： 高电压器件结构，使用互补金属氧化物半导体（CMOS）工艺制造这种器件结构的方法，以及高压电路的设计结构。 使用绝缘体上半导体（SOI）衬底形成的平面器件结构包括位于两个栅电极之间的半导体本体。 栅电极和半导体本体可以由SOI衬底的单晶SOI层形成。 电介质层将每个栅电极与半导体本体分开。 这些电介质层通过在SOI层中限定沟槽并用介电材料填充沟槽而形成，其可以与形成器件隔离区的工艺同时发生。

公开(公告)号：US07772651B2

公开(公告)日：2010-08-10

申请号：US12013101

申请日：2008-01-11

申请人： Michel J. Abou-Khalil ,  Robert J. Gauthier, Jr. ,  Tom C. Lee ,  Junjun Li ,  Christopher S. Putnam ,  Mitra Souvick

发明人： Michel J. Abou-Khalil ,  Robert J. Gauthier, Jr. ,  Tom C. Lee ,  Junjun Li ,  Christopher S. Putnam ,  Mitra Souvick

IPC分类号： H01L29/78

CPC分类号： H01L27/1203 ,  H01L21/84

摘要： High-voltage device structures, methods for fabricating such device structures using complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) processes, and design structures for high-voltage circuits. The planar device structure, which is formed using a semiconductor-on-insulator (SOI) substrate, includes a semiconductor body positioned between two gate electrodes. The gate electrodes and the semiconductor body may be formed from the monocrystalline SOI layer of the SOI substrate. A dielectric layer separates each of the gate electrodes from the semiconductor body. These dielectric layers are formed by defining trenches in the SOI layer and filling the trenches with a dielectric material, which may occur concurrent with a process forming device isolation regions.

摘要翻译： 高电压器件结构，使用互补金属氧化物半导体（CMOS）工艺制造这种器件结构的方法，以及高压电路的设计结构。 使用绝缘体上半导体（SOI）衬底形成的平面器件结构包括位于两个栅电极之间的半导体本体。 栅电极和半导体本体可以由SOI衬底的单晶SOI层形成。 电介质层将每个栅电极与半导体本体分开。 这些电介质层通过在SOI层中限定沟槽并用介电材料填充沟槽而形成，其可以与形成器件隔离区的工艺同时发生。