公开(公告)号：US5666200A

公开(公告)日：1997-09-09

申请号：US607810

申请日：1996-02-27

申请人： Bernard Drevillon ,  Morten Kildemo ,  Ramdane Benferhat

发明人： Bernard Drevillon ,  Morten Kildemo ,  Ramdane Benferhat

IPC分类号： G01J4/00 ,  G01J4/04 ,  G01N21/21 ,  H01L21/66

CPC分类号： G01N21/211 ,  H01L22/12

摘要： This invention relates to a method and a device for the ellipsometric measurement of physical parameters representative of a sample.The measured values I.sub.om, I.sub.sm and I.sub.cm are calculated (51, 52) from the signal (50) which represents the measured intensity I(t).In a first step (55, 57), initial theoretical values I.sub.st /I.sub.ot and I.sub.ct /I.sub.ot are produced from initial estimations (56) of the physical parameters. In a second step (58, 59) subsequent estimations (59) of physical parameters are determined from which subsequent theoretical values I.sub.st /I.sub.ot and I.sub.ct /I.sub.ot are deduced (55, 57). The second step is reiterated to an Nth estimation (59) of the physical parameters, so as to minimise the difference between the theoretical values and those measured.The physical parameters are evaluated (54) in the course of the Nth estimation.

摘要翻译： 本发明涉及用于代表样品的物理参数的椭偏测量的方法和装置。 从表示测量强度I（t）的信号（50）计算测量值Iom，Ism和Icm（51,52）。 在第一步（55,57）中，从物理参数的初始估计（56）产生初始理论值Ist / Iot和Ict / Iot。 在第二步骤（58,59）中，确定随后的理论值Ist / Iot和Ict / Iot的理论值的估计（59）（55,57）。 第二步重复到物理参数的第N次估计（59），以便最小化理论值与测量值之间的差异。 在第N次估计过程中对物理参数进行评估（54）。