公开(公告)号：US5991040A

公开(公告)日：1999-11-23

申请号：US981728

申请日：1997-12-23

申请人： Gunter Doemens ,  Anton Schick ,  Paul Kollensperger

发明人： Gunter Doemens ,  Anton Schick ,  Paul Kollensperger

IPC分类号： G01B11/00 ,  G01B11/02 ,  G01C3/06 ,  H01L21/66 ,  G01B11/24

CPC分类号： G01B11/026

摘要： In addition to triangulation methods, measurement systems according to the confocal principle are employed for the three-dimensional sensing of surfaces. These measurement systems have a higher resolution but, under certain circumstances, a lower data rate. An optical proximity sensor is described which, on the basis of the confocal microscope, carries out automatic inspection of surfaces in a time which is acceptable for a fabrication process. A linear system of corresponding light sources and photo receivers is used instead of a scanning beam, which requires a high outlay for generation. The optical path length between the receiving unit and the optical imaging arrangement is varied for the resolution of height values, wherein a light intensity maximum is detected by a peak detector.

摘要翻译： PCT No.PCT / DE96 / 01081 Sec。 371 1997年12月23日第 102（e）日期1997年12月23日PCT Filed 1996年6月19日PCT公布。 出版物WO97 / 02466 日期1997年1月23日除了三角测量方法之外，还采用根据共焦原理的测量系统进行表面的三维感测。 这些测量系统具有更高的分辨率，但在某些情况下，数据速率较低。 描述了一种光学接近传感器，其基于共焦显微镜，在制造过程中可接受的时间内对表面进行自动检查。 使用相应的光源和光电接收器的线性系统来代替扫描光束，这需要高的发电量。 接收单元和光学成像装置之间的光程长度因高度值的分辨率而变化，其中由峰值检测器检测光强度最大值。