公开(公告)号：US20060102847A1

公开(公告)日：2006-05-18

申请号：US10991694

申请日：2004-11-18

申请人： Paul Shelley ,  Peter VanVoast ,  Thomas Dean ,  Bruce Davis

发明人： Paul Shelley ,  Peter VanVoast ,  Thomas Dean ,  Bruce Davis

IPC分类号： G01J1/42

CPC分类号： G01J3/443

摘要： A method and system are provided for real-time contaminant detection and plasma treatment verification during plasma treatment of bonding surfaces. Optical emission spectroscopy (OES) is utilized to determine contamination of a bonding surface prior to the bonding process. OES is further utilized to monitor bonding sites on the bonding surface to verify effectiveness of the plasma treatment.

摘要翻译： 提供了一种方法和系统，用于等离子体处理接合表面时的实时污染物检测和等离子体处理验证。 使用光发射光谱（OES）来确定接合过程之前粘合表面的污染。 OES进一步用于监测接合表面上的结合部位，以验证等离子体处理的有效性。