公开(公告)号：US20120160807A1

公开(公告)日：2012-06-28

申请号：US12979654

申请日：2010-12-28

申请人： Kin-sang Lam ,  Gary Ray Pierce, JR.

发明人： Kin-sang Lam ,  Gary Ray Pierce, JR.

IPC分类号： C23F1/08 ,  C23F1/00 ,  C23C14/34 ,  C23C14/50 ,  C23C14/04

CPC分类号： H01J37/18 ,  C23C14/50 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32715 ,  H01L21/6833

摘要： A vacuum plasma system has a table with a table power connector, and a fixture spaced apart from the table for defining a chamber between the table and the fixture. An electrostatic chuck (ESC) is mounted to the table in the chamber. The ESC has a side for supporting a workpiece, and an ESC power connector that electrically couples with the table power connector. A coupling extends between the table and ESC power connectors to provide electrical connection therebetween. A shield surrounds the coupling and portions of the table and ESC power connectors to reduce external fields applied to the coupling.

摘要翻译： 真空等离子体系统具有带有桌面电源连接器的桌子，以及与桌子间隔开的夹具，用于在桌子和夹具之间形成一个室。 静电吸盘（ESC）安装在室内的桌子上。 ESC具有用于支撑工件的侧面以及与工作台电源连接器电耦合的ESC电源连接器。 联轴器在工作台和ESC电源连接器之间延伸，以提供电连接。 屏蔽围绕耦合器和台面的部分以及ESC电源连接器，以减少施加到联轴器的外部场。

公开(公告)号：US20140269174A1

公开(公告)日：2014-09-18

申请号：US14216935

申请日：2014-03-17

申请人： Joseph R. Gagliardi ,  Shawn Rice ,  Curt Schneider ,  Jeffrey W. Cunkelman ,  Tim Dudley ,  Dale Lambert ,  Mike Burnham ,  Ray Pierce

发明人： Joseph R. Gagliardi ,  Shawn Rice ,  Curt Schneider ,  Jeffrey W. Cunkelman ,  Tim Dudley ,  Dale Lambert ,  Mike Burnham ,  Ray Pierce

IPC分类号： G01V1/38

CPC分类号： G01V1/3808 ,  G01V1/38

摘要： A marine seismic survey is performed in icy waters by initially planning a survey track traversing a survey area. The initial track is planned based on initial ice conditions in the survey area having the icy waters. After preparing the system, a seismic system is deployed into the water from a survey vessel at the survey area. This is typically done in an area relatively free of ice. At least one escort vessel escorts the survey vessel as it traverses the survey track and obtains seismic data. The survey vessel tows the seismic system under the surface of the icy water to avoid the ice. All the while, systems and operators monitor the survey area along the survey track for actual ice conditions. In this way, the escort vessel can handling the actual ice conditions along the survey track so the survey vessel does not need to halt.

摘要翻译： 在冰冷的水域进行海洋地震勘测，最初计划通过勘测区域的勘测轨迹。 初步的轨迹是根据具有冰冷水域的勘测区域的初始冰条件计划的。 在制定系统后，将一个地震系统从调查区域的一个测量船部署到水中。 这通常在相对没有冰的区域中完成。 至少有一艘护送船在穿过勘测轨道时护送测量船，并获得地震数据。 调查船拖着冰水表面的地震系统，以避免冰块。 所有的时间，系统和操作员都在实际的冰条件下沿着勘测轨道监测勘测区域。 以这种方式，护送船可以处理沿着勘测轨道的实际冰面状况，因此不需要停止测量船。