公开(公告)号：US20070223007A1

公开(公告)日：2007-09-27

申请号：US11384834

申请日：2006-03-21

申请人： Renatus Klaver ,  Erik Loopstra ,  Engelbertus Fransiscus Van Der Pasch

发明人： Renatus Klaver ,  Erik Loopstra ,  Engelbertus Fransiscus Van Der Pasch

IPC分类号： G01B11/02

CPC分类号： G01D5/38 ,  G03F7/70775

摘要： A displacement measurement system configured to provide measurement of the relative displacement of two components in six degrees of freedom with improved consistency and without requiring excessive space.

摘要翻译： 一种位移测量系统，被配置为提供六个自由度中的两个部件的相对位移的测量，具有改进的一致性并且不需要过多的空间。