公开(公告)号：US20050190351A1

公开(公告)日：2005-09-01

申请号：US11118476

申请日：2005-05-02

申请人： Henrikus Cox ,  Robertus Nicodemus Van Ballegoij ,  Petrus Matthijs Vosters ,  Sven Antoin Hol ,  Sebastiaan Maria Cornelissen

发明人： Henrikus Cox ,  Robertus Nicodemus Van Ballegoij ,  Petrus Matthijs Vosters ,  Sven Antoin Hol ,  Sebastiaan Maria Cornelissen

IPC分类号： B23Q1/58 ,  B23Q11/00 ,  F16F15/02 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  G03B27/42

CPC分类号： G03F7/70766 ,  B23Q1/58 ,  B23Q11/0032 ,  G03F7/70725 ,  G03F7/70758 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/709

摘要： A lithographic projection apparatus in which a reaction force is generated between a balance mass and a substrate table. The balance mass is elastically coupled to the base frame with a suspension eigenfrequency of between 0.3 and 10 Hz.

摘要翻译： 一种在平衡块和基板台之间产生反作用力的光刻投影装置。 平衡质量弹性地耦合到基架上，其悬挂本征频率在0.3和10Hz之间。