公开(公告)号：US06318957B1

公开(公告)日：2001-11-20

申请号：US09256743

申请日：1999-02-24

申请人： Paul R. Carr ,  Paul T. Jacobson ,  James F. Kusbel ,  James S. Roundy ,  Ravinder K. Aggarwal ,  Ivo Raaijmakers ,  Rod Lenz ,  Nilesh Rajbharti

发明人： Paul R. Carr ,  Paul T. Jacobson ,  James F. Kusbel ,  James S. Roundy ,  Ravinder K. Aggarwal ,  Ivo Raaijmakers ,  Rod Lenz ,  Nilesh Rajbharti

IPC分类号： B65G4907

CPC分类号： H01L21/68735 ,  H01L21/67346 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/68721 ,  H01L21/68728 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68771 ,  Y10S414/137 ,  Y10S414/141

摘要： The invention is a carrier comprising three support elements connected by an underlying frame. The periphery of a wafer rests upon the support elements. The invention also comprises a wafer handler with a plurality of arms. Spacers space the carrier above a base plate associated with a station in a wafer handling area. An arm slides beneath the frame and between the spacers, but the handler does not contact the wafer. A method of using the handler and carrier is provided where the handler lifts and rotates the carrier with the wafer through various stations in a wafer handling area. A control device reduces the handler speed only at critical points of the processing cycle. The handler is capable of moving a plurality of carriers and wafers simultaneously.

摘要翻译： 本发明是一种载体，其包括由下面的框架连接的三个支撑元件。 晶片的周边位于支撑元件上。 本发明还包括具有多个臂的晶片处理器。 隔板将载体放置在与晶片处理区域中的站相关联的基板上方。 手臂在框架下方和间隔件之间滑动，但是处理器不接触晶片。 提供了一种使用处理器和载体的方法，其中处理器通过晶片处理区域中的各个工位来提升和旋转载体与晶片。 控制装置仅在处理周期的关键点降低处理器速度。 处理器能够同时移动多个载体和晶片。