公开(公告)号：US20110162798A1

公开(公告)日：2011-07-07

申请号：US12899048

申请日：2010-10-06

申请人： CHUNLEI ZHANG ,  SERGIO F. SHOJI ,  ANDREY SEMENIN ,  KARTIK RAMASWAMY ,  JAMES P. CRUSE ,  BRYAN LIAO

发明人： CHUNLEI ZHANG ,  SERGIO F. SHOJI ,  ANDREY SEMENIN ,  KARTIK RAMASWAMY ,  JAMES P. CRUSE ,  BRYAN LIAO

IPC分类号： C23F1/08 ,  H03H7/38

CPC分类号： H03H7/40 ,  H01J37/32183 ,  H01J37/32935 ,  H05H1/46

摘要： Methods and apparatus for tuning matching networks are provided herein. A method of tuning a matching network includes providing a matching network coupling an RF source to a load, the matching network having a tunable element disposed at a first set point; increasing a value of the tunable element by a first step above the first set point; sensing a first adjusted value of a reflected RF power; decreasing the value of the tunable element by the first step below the first set point; sensing a second adjusted value of the reflected RF power; comparing the first and the second adjusted values of the reflected RF power; and moving the tunable element to a second set point that corresponds to a position having a lowest adjusted value of the reflected RF power. The method may be repeated until the reflected RF power falls within an acceptable reflected RF power range.

摘要翻译： 本文提供了用于调整匹配网络的方法和装置。 调整匹配网络的方法包括提供将RF源耦合到负载的匹配网络，所述匹配网络具有设置在第一设定点处的可调谐元件; 通过在第一设定点之上的第一步增加可调元件的值; 感测反射RF功率的第一调整值; 将可调谐元件的值降低到低于第一设定点的第一步; 感测反射RF功率的第二调整值; 比较反射RF功率的第一和第二调整值; 以及将所述可调元件移动到对应于具有所述反射RF功率的最低调整值的位置的第二设定点。 可以重复该方法，直到反射的RF功率落在可接受的反射RF功率范围内。

公开(公告)号：US08513889B2

公开(公告)日：2013-08-20

申请号：US12899048

申请日：2010-10-06

申请人： Chunlei Zhang ,  Sergio F. Shoji ,  Andrey Semenin ,  Kartik Ramaswamy ,  James P. Cruse ,  Bryan Liao

发明人： Chunlei Zhang ,  Sergio F. Shoji ,  Andrey Semenin ,  Kartik Ramaswamy ,  James P. Cruse ,  Bryan Liao

IPC分类号： H03H7/38

CPC分类号： H03H7/40 ,  H01J37/32183 ,  H01J37/32935 ,  H05H1/46

摘要： Methods and apparatus for tuning matching networks are provided herein. A method of tuning a matching network includes providing a matching network coupling an RF source to a load, the matching network having a tunable element disposed at a first set point; increasing a value of the tunable element by a first step above the first set point; sensing a first adjusted value of a reflected RF power; decreasing the value of the tunable element by the first step below the first set point; sensing a second adjusted value of the reflected RF power; comparing the first and the second adjusted values of the reflected RF power; and moving the tunable element to a second set point that corresponds to a position having a lowest adjusted value of the reflected RF power. The method may be repeated until the reflected RF power falls within an acceptable reflected RF power range.

摘要翻译： 本文提供了用于调整匹配网络的方法和装置。 调整匹配网络的方法包括提供将RF源耦合到负载的匹配网络，所述匹配网络具有设置在第一设定点处的可调谐元件; 通过在第一设定点之上的第一步增加可调元件的值; 感测反射RF功率的第一调整值; 将可调谐元件的值降低到低于第一设定点的第一步; 感测反射RF功率的第二调整值; 比较反射RF功率的第一和第二调整值; 以及将所述可调元件移动到对应于具有所述反射RF功率的最低调整值的位置的第二设定点。 可以重复该方法，直到反射的RF功率落在可接受的反射RF功率范围内。