公开(公告)号：US5281305A

公开(公告)日：1994-01-25

申请号：US888568

申请日：1992-05-22

申请人： Sae H. Lee ,  Richard L. Davis

发明人： Sae H. Lee ,  Richard L. Davis

IPC分类号： G02B6/12 ,  G02B6/122 ,  G02B6/132 ,  G02B6/136 ,  H01L21/306 ,  B44C1/22

CPC分类号： G02B6/136 ,  G02B6/12002 ,  G02B6/1221 ,  G02B6/132

摘要： A method is described for producing stacked optical waveguides in a silicon dioxide substrate and includes the steps of: etching a first trench in the substrate; filling the first trench with a glassy optical transmission media; depositing a layer of silicon dioxide over the filled trench; etching a second trench in the silicon dioxide layer, the second trench aligned with the first trench; and filling the second trench with a glassy optical transmission media.

摘要翻译： 描述了一种用于在二氧化硅衬底中制造叠层光波导的方法，包括以下步骤：蚀刻衬底中的第一沟槽; 用玻璃光学传输介质填充第一个沟槽; 在填充的沟槽上沉积二氧化硅层; 蚀刻所述二氧化硅层中的第二沟槽，所述第二沟槽与所述第一沟槽对准; 并用玻璃光学传输介质填充第二沟槽。