公开(公告)号：US5928725A

公开(公告)日：1999-07-27

申请号：US896579

申请日：1997-07-18

申请人： Peter Howard ,  Michael Williams ,  Suebali Rahemanji ,  Scott Lucas ,  Chong Yi

发明人： Peter Howard ,  Michael Williams ,  Suebali Rahemanji ,  Scott Lucas ,  Chong Yi

IPC分类号： B05D7/22 ,  B05B13/06 ,  C23C16/04 ,  C23C16/455 ,  F01D5/28

CPC分类号： C23C16/045

摘要： A method and apparatus is provided to coat the internal surfaces of a hollow article having gas flow passages by supplying a coating gas to the passages with the coating gas flow rate to at least two of the passages controlled to a different rate to deposit a coating of desired thickness on the internal surfaces of each passage.

摘要翻译： 提供了一种方法和装置，用于通过向通道提供涂覆气体来涂覆具有气体流动通道的中空制品的内表面，其中涂覆气体流速控制至不同速率的至少两个通道以沉积涂层 每个通道的内表面上所需的厚度。