公开(公告)号：US20050133728A1

公开(公告)日：2005-06-23

申请号：US10744250

申请日：2003-12-22

申请人： Tamer Onat ,  Rajen Sud ,  Gregory Gibilaro ,  Joseph Dzengeleski

发明人： Tamer Onat ,  Rajen Sud ,  Gregory Gibilaro ,  Joseph Dzengeleski

IPC分类号： H01J3/14 ,  H01J37/304 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/304 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/31703

摘要： A systematic in-situ analysis is provided for ensuring that a uniform and accurate ion implantation dose for workpieces is being realized. Prior to implantation the system determines whether the calibration of a dose controller is within predetermined tolerance values. If the dose controller is outside of these values, the implantation process is halted so that the calibration can be remedied without further damaging any workpieces by mis-dosing.

摘要翻译： 提供了系统的原位分析，用于确保正在实现工件的均匀和准确的离子注入剂量。 在植入之前，系统确定剂量控制器的校准是否在预定的容许值内。 如果剂量控制器在这些值之外，则停止注入过程，以便可以纠正校准，而不会通过误配来进一步损坏任何工件。

公开(公告)号：US07564048B2

公开(公告)日：2009-07-21

申请号：US11479397

申请日：2006-06-30

申请人： Joseph P. Dzengeleski ,  Greg Gibilaro ,  Gregg Norris ,  David Olden ,  Tamer Onat

发明人： Joseph P. Dzengeleski ,  Greg Gibilaro ,  Gregg Norris ,  David Olden ,  Tamer Onat

IPC分类号： G21K5/10

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J37/244 ,  H01J37/302 ,  H01J37/32412 ,  H01J2237/24405 ,  H01J2237/24507

摘要： A Faraday sensor test system includes a Faraday sensor configured to intercept a quantity of ions incident on said Faraday sensor, a primary conductor and a test conductor coupled to said Faraday sensor, and a controller. The controller is configured to automatically provide a test current into the test conductor in response to a test condition. The controller is further configured to receive a return current from the primary conductor in response to the test current and to compare the return current to a value representative of the test current to determine a condition of a conductive path comprising the test conductor, the Faraday sensor, and the primary conductor.

摘要翻译： 法拉第传感器测试系统包括法拉第传感器，其被配置为拦截入射在所述法拉第传感器上的一定数量的离子，耦合到所述法拉第传感器的主导体和测试导体以及控制器。 控制器被配置为响应于测试条件自动向测试导体提供测试电流。 控制器还被配置为响应于测试电流从主导体接收返回电流，并将返回电流与表示测试电流的值进行比较，以确定包含测试导体的导电路径的状况，法拉第传感器 ，和主导体。