公开(公告)号：US20070062557A1

公开(公告)日：2007-03-22

申请号：US11367693

申请日：2006-03-06

申请人： Tatyana Rakhimova ,  Vadim Banine ,  Vladimir Ivanov ,  Konstantin Koshelev ,  Johannes Moors ,  Aleksander Kovalev ,  Dmitriy Lopaev

发明人： Tatyana Rakhimova ,  Vadim Banine ,  Vladimir Ivanov ,  Konstantin Koshelev ,  Johannes Moors ,  Aleksander Kovalev ,  Dmitriy Lopaev

IPC分类号： B08B6/00 ,  C25F5/00 ,  C25F3/30 ,  C25F1/00

CPC分类号： G03F7/70925 ,  G03F7/70933 ,  G21K2201/06

摘要： A method for cleaning elements of a lithographic apparatus, for example optical elements such as a collector mirror, includes providing a gas containing nitrogen; generating nitrogen radicals from at least part of the gas, thereby forming a radical containing gas; and providing at least part of the radical containing gas to the one or more elements of the apparatus. A lithographic apparatus includes a source and an optical element, and an electrical discharge generator arranged to generate a radio frequency discharge.

摘要翻译： 用于清洁光刻设备的元件的方法，例如诸如集光镜的光学元件，包括提供含氮的气体; 从至少部分气体产生氮自由基，从而形成含有自由基的气体; 以及将至少部分含自由基的气体提供给所述装置的一个或多个元件。 光刻设备包括源和光学元件，以及布置成产生射频放电的放电发生器。