公开(公告)号：US06535779B1

公开(公告)日：2003-03-18

申请号：US09036217

申请日：1998-03-06

申请人： Manush Birang ,  Gregory L. Kolte ,  Terry Lee Doyle ,  Nils Johansson ,  Paul E. Luscher ,  Leonid Poslavsky

发明人： Manush Birang ,  Gregory L. Kolte ,  Terry Lee Doyle ,  Nils Johansson ,  Paul E. Luscher ,  Leonid Poslavsky

IPC分类号： G06F766

CPC分类号： H01J37/32963 ,  G05B2219/25171 ,  G05B2219/2602 ,  H01J37/32935 ,  H01L22/26

摘要： A substrate processing system having a bi-directional interface and concomitant communication protocol to allow a controller to communicate with an external endpoint system is disclosed. More specifically, the substrate processing system comprises a controller and an endpoint detection system that are coupled together via a RS-232 interface. A SECS compliant communication protocol is employed to effect communication between the controller and endpoint detection system to increase wafer processing information exchange and data exchange.

摘要翻译： 公开了一种具有允许控制器与外部端点系统通信的双向接口和伴随通信协议的基板处理系统。 更具体地，基板处理系统包括通过RS-232接口耦合在一起的控制器和端点检测系统。 采用符合SECS标准的通信协议来实现控制器和端点检测系统之间的通信，以增加晶片处理信息交换和数据交换。