公开(公告)号：US06535779B1

公开(公告)日：2003-03-18

申请号：US09036217

申请日：1998-03-06

申请人： Manush Birang ,  Gregory L. Kolte ,  Terry Lee Doyle ,  Nils Johansson ,  Paul E. Luscher ,  Leonid Poslavsky

发明人： Manush Birang ,  Gregory L. Kolte ,  Terry Lee Doyle ,  Nils Johansson ,  Paul E. Luscher ,  Leonid Poslavsky

IPC分类号： G06F766

CPC分类号： H01J37/32963 ,  G05B2219/25171 ,  G05B2219/2602 ,  H01J37/32935 ,  H01L22/26

摘要： A substrate processing system having a bi-directional interface and concomitant communication protocol to allow a controller to communicate with an external endpoint system is disclosed. More specifically, the substrate processing system comprises a controller and an endpoint detection system that are coupled together via a RS-232 interface. A SECS compliant communication protocol is employed to effect communication between the controller and endpoint detection system to increase wafer processing information exchange and data exchange.

摘要翻译： 公开了一种具有允许控制器与外部端点系统通信的双向接口和伴随通信协议的基板处理系统。 更具体地，基板处理系统包括通过RS-232接口耦合在一起的控制器和端点检测系统。 采用符合SECS标准的通信协议来实现控制器和端点检测系统之间的通信，以增加晶片处理信息交换和数据交换。

公开(公告)号：US06813534B2

公开(公告)日：2004-11-02

申请号：US10081088

申请日：2002-02-20

申请人： Zhifeng Sui ,  Paul E Luscher ,  Nils Johansson ,  Michael D Welch

发明人： Zhifeng Sui ,  Paul E Luscher ,  Nils Johansson ,  Michael D Welch

IPC分类号： G06F1900

CPC分类号： H01L21/67253 ,  H01J37/32935 ,  H01J37/32963

摘要： In an endpoint detection method for a process performed in a substrate processing chamber with an energized gas, a process variable of the process is detected. The process variable comprising at least one of (i) a radiation emitted by the energized gas, (ii) a radiation reflected from a substrate in the chamber, (iii) a reflected power level of the energized gas, and (iv) a temperature in the chamber. An endpoint signal is issued when the process variable is indicative of an endpoint of the process. A process parameter of the process is also detected, the process parameter comprising at least one of (i) a source power, (ii) an RF forward power, reflected power, or match components, (iii) an RF peak-to-peak voltage, current or phase, (iv) a DC bias level, (v) a chamber pressure or throttle valve position, (vi) a gas composition or flow rate, (vii) a substrate temperature or composition, (viii) a temperature of a chamber component or wall, and (ix) a magnetic confinement level or magnet position. The endpoint signal is determined to be true or false by evaluating the process parameter.

摘要翻译： 在具有通电气体的基板处理室中执行的处理的端点检测方法中，检测该处理的过程变量。 所述过程变量包括以下中的至少一个：（i）由所述通电气体发射的辐射，（ii）从所述室中的衬底反射的辐射，（iii）所述通电气体的反射功率水平，以及（iv） 在房间里 当过程变量指示过程的终点时，发出端点信号。 还检测该过程的过程参数，该过程参数包括以下中的至少一个：（i）源功率，（ii）RF正向功率，反射功率或匹配分量，（iii）RF峰 - 峰 电压，电流或相位，（iv）DC偏置电平，（v）腔室压力或节流阀位置，（vi）气体组成或流速，（vii）衬底温度或组成，（viii） 腔室部件或壁，以及（ix）磁限制水平或磁体位置。 通过评估过程参数将端点信号确定为真或假。

公开(公告)号：US08686330B2

公开(公告)日：2014-04-01

申请号：US13580874

申请日：2011-02-24

申请人： Nils Johansson

发明人： Nils Johansson

IPC分类号： F42B10/64 ,  F42B10/60 ,  F42B10/00

CPC分类号： F42B10/38 ,  F42B10/62

摘要： The invention relates to a shell (1) arranged with extensible wings (3) having improved guidance characteristics during the gliding and final phase of the shell (1). The invention is characterized in that the extensible wings (3), via threaded wing fixtures (8), are movably arranged on rotatable axial guide shafts (6) on the shell body (2) for separate or simultaneous displacement of the wings (3) in the longitudinal direction A of the shell (1), for guidance of the shell (1) in the vertical and lateral directions during the trajectory phase of the shell, and in that the wings (3) are also rotatably arranged on radial guide shafts for controlling the angle of incidence of the wings (3) during the final phase of the shell (1).

摘要翻译： 本发明涉及一种在壳体（1）的滑行和最终相位期间布置有具有改进的引导特性的可伸展翼（3）的壳体（1）。 本发明的特征在于，通过螺纹翼固定装置（8）可延伸的翼（3）可移动地布置在壳体（2）上的可旋转轴向引导轴（6）上，用于分离或同时移动翼（3） 在壳体（1）的纵向方向A上，用于在壳体的轨迹相位期间在垂直和横向方向上引导壳体（1），并且翼（3）也可旋转地布置在径向引导轴 用于在壳（1）的最后阶段期间控制翼（3）的入射角。

公开(公告)号：US20100224719A1

公开(公告)日：2010-09-09

申请号：US12682849

申请日：2008-10-16

申请人： Nils Johansson

发明人： Nils Johansson

IPC分类号： F42B10/38

CPC分类号： F42B15/36 ,  F42B10/32

摘要： The present invention relates to a method and a shell (1) for achieving variable firing range and effect when firing from a launcher, which shell (1) contains a firing charge (10), a rocket motor charge (6) with gas outlet (8), a rocket motor nozzle (9) and an active part (5). According to the invention, this is achieved by virtue of the fact that the shell (1) also contains a release mechanism (15) for releasing the rocket motor nozzle (9) from the rocket motor charge (6) after a time delay determined with regard to firing range and effect, and that the rocket motor charge (6) comprises a propellant which is detonable.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于实现可变点火范围的方法和壳体（1），其用于从发射器进行燃烧时，该发射器（1）包含点火装置（10），具有气体出口的火箭发动机充电器（6） 8），火箭发动机喷嘴（9）和活动部件（5）。 根据本发明，这是通过以下事实来实现的：壳体（1）还包含用于在火箭发动机喷嘴（9）与火箭发动机电荷（6）之间释放时间延迟之后释放火箭发动机喷嘴（9）的释放机构（15） 关于射程和效果，并且火箭发动机充电（6）包括可引爆的推进剂。

公开(公告)号：US07682221B2

公开(公告)日：2010-03-23

申请号：US11677450

申请日：2007-02-21

申请人： Boguslaw A. Swedek ,  Manoocher Birang ,  Nils Johansson

发明人： Boguslaw A. Swedek ,  Manoocher Birang ,  Nils Johansson

IPC分类号： B24B49/00 ,  B24B29/00 ,  G01R33/12 ,  G01B7/06 ,  G06F19/00 ,  B24B37/04 ,  G01L21/00

CPC分类号： B24B37/013 ,  B24B49/02 ,  B24B49/10 ,  B24B49/12 ,  G01B7/105 ,  G01B11/0683

摘要： A chemical mechanical polishing apparatus and method can use an eddy current monitoring system and an optical monitoring system. Signals from the monitoring systems can be combined on an output line and extracted by a computer. A thickness of a polishing pad can be calculated. The eddy current monitoring system and optical monitoring system can measure substantially the same location on the substrate.

摘要翻译： 化学机械抛光装置和方法可以使用涡流监测系统和光学监测系统。 来自监控系统的信号可以组合在输出线上并由计算机提取。 可以计算抛光垫的厚度。 涡流监测系统和光学监测系统可以测量基板上基本相同的位置。

公开(公告)号：US20090253351A1

公开(公告)日：2009-10-08

申请号：US12433433

申请日：2009-04-30

申请人： Gabriel Lorimer Miller ,  Manoocher Birang ,  Nils Johansson ,  Boguslaw A. Swedek ,  Dominic J. Benvegnu

发明人： Gabriel Lorimer Miller ,  Manoocher Birang ,  Nils Johansson ,  Boguslaw A. Swedek ,  Dominic J. Benvegnu

IPC分类号： B24B49/10 ,  B24B49/12 ,  B24B49/16 ,  B24B41/06 ,  B23P11/00

CPC分类号： G01N19/02 ,  B24B37/013 ,  B24B49/16

摘要： A system method and apparatus to monitor a frictional coefficient of a substrate undergoing polishing is described. A polishing pad assembly includes a polishing layer including a polishing surface, and a substrate contacting member flexibly coupled to the polishing layer having a top surface to contact an exposed surface of a substrate. At least a portion of the top surface is substantially coplanar with the polishing surface. A sensor is provided to measure a lateral displacement of the substrate contacting member. Some embodiments may provide accurate endpoint detection during chemical mechanical polishing to indicate the exposure of an underlying layer.

摘要翻译： 描述了用于监测经历抛光的基底的摩擦系数的系统，方法和装置。 抛光垫组件包括包括抛光表面的抛光层，以及柔性地联接到抛光层上的衬底接触构件，其具有与衬底的暴露表面接触的顶表面。 顶表面的至少一部分与抛光表面基本共面。 提供传感器以测量基板接触构件的横向位移。 一些实施例可以在化学机械抛光期间提供准确的端点检测以指示下层的曝光。

公开(公告)号：US07513818B2

公开(公告)日：2009-04-07

申请号：US10977479

申请日：2004-10-28

申请人： Gabriel Lorimer Miller ,  Manoocher Birang ,  Nils Johansson ,  Boguslaw A. Swedek ,  Dominic J. Benvegnu

发明人： Gabriel Lorimer Miller ,  Manoocher Birang ,  Nils Johansson ,  Boguslaw A. Swedek ,  Dominic J. Benvegnu

IPC分类号： B24B49/00

CPC分类号： B24B37/013 ,  B24B37/042 ,  B24B49/16 ,  G01N19/02

摘要： A system, method and apparatus to monitor a frictional coefficient of a substrate undergoing polishing is described. A polishing pad assembly includes a polishing layer including a polishing surface, and a substrate contacting member flexibly coupled to the polishing layer having a top surface to contact an exposed surface of a substrate. At least a portion of the top surface is substantially coplanar with the polishing surface. A sensor is provided to measure a lateral displacement of the substrate contacting member. Some embodiments may provide accurate endpoint detection during chemical mechanical polishing to indicate the exposure of an underlying layer.

摘要翻译： 描述了用于监测经历抛光的基底的摩擦系数的系统，方法和装置。 抛光垫组件包括包括抛光表面的抛光层，以及柔性地联接到抛光层上的衬底接触构件，其具有与衬底的暴露表面接触的顶表面。 顶表面的至少一部分与抛光表面基本共面。 提供传感器以测量基板接触构件的横向位移。 一些实施例可以在化学机械抛光期间提供准确的端点检测以指示下层的曝光。

公开(公告)号：US07213517B2

公开(公告)日：2007-05-08

申请号：US10312947

申请日：2001-06-20

申请人： Torsten Ronn ,  Nils Johansson

发明人： Torsten Ronn ,  Nils Johansson

IPC分类号： F42C13/00

CPC分类号： F42C13/023

摘要： A proximity-fuzed ammunition unit (1) that can approach a target and where during approach the proximity fuze function effects or gives rise to a voltage pulse pattern that is dependent on objects located along the flight path of the ammunition unit on its approach to the target. The voltage pulse pattern forms the basis for the actution of at least one triggering device (18) incorporated in the ammunition unit. The electrical circuit or circuits incorporated in or interacting with each triggering device is/are arranged to sense a voltage or amplitude value in the trailing edge of a pulse incorporated in or forming the pattern. If the pattern comprises a number of pulses an indication is given when a predetermined number of pulses has appeared to appears. Each electrical circuit causes or effects the opeation of the triggering device for its actuation depending on the said sensing and/or indication.

摘要翻译： 近距离弹药单元（1），其可以接近目标，并且在接近接近引信功能期间，其接近引信功能会影响或产生依赖于沿着弹药单元的飞行路径定位的物体的电压脉冲模式 目标。 电压脉冲图案形成了用于实施弹药单元中的至少一个触发装置（18）的基础。 结合在每个触发装置中或与每个触发装置相互作用的电路或电路被布置成感测在并入或形成图案的脉冲的后沿中的电压或振幅值。 如果图案包括多个脉冲，则在出现预定数量的脉冲时给出指示。 每个电路根据所述感测和/或指示使触发装置的操作导致或影响其启动。

公开(公告)号：US07156024B2

公开(公告)日：2007-01-02

申请号：US10312718

申请日：2001-06-20

申请人： Torsten Ronn ,  Nils Johansson ,  Thomas Widlund

发明人： Torsten Ronn ,  Nils Johansson ,  Thomas Widlund

IPC分类号： F42B12/58

CPC分类号： F42B12/32

摘要： A warhead charge device (18, 18′, 18″, 18′″) arranged to carry liquid explosive (11), and which device is for use in an ammunition cargo unit such as a missile. The device incorporates at least two confined spaces (2, 6, 9) equipped with or, while the function of the device is in operation, capable of receiving liquid explosive (11) or components thereof via a device such as a pump device arranged to transfer completely or partially the explosive or components thereof from at least the first confined space to the other confined space, or vice versa.

摘要翻译： 布置成携带液体炸药（11）的弹头装药装置（18,18'，18“，18”），该装置用于诸如导弹的弹药货物单元。 该装置包括至少两个配备有或在该装置的功能运行时的限制空间（2,6,9）能够经由诸如泵装置的装置接收液体炸药（11）或其部件，布置成 将爆炸物或其组分从至少第一密闭空间完全或部分地转移到另一个密闭空间，反之亦然。

公开(公告)号：US20060102040A1

公开(公告)日：2006-05-18

申请号：US10312955

申请日：2001-06-20

申请人： Nils Johansson

发明人： Nils Johansson

IPC分类号： F42B12/08

CPC分类号： F42B12/10

摘要： An ammunition unit, for combating targets (10) with or without using shaped charge effect, that incorporates an openable or removable and replaceable hull or outer casing (2). The explosive charge in the ammunition unit comprises a charge section (3) with shaped charge function arranged to be able to assume either of two freely selectable positions in the ammunition unit, the first of which enables the charge to exert its shaped charge function and the second of which disables the shaped charge function and enables a different effect to be triggered.

摘要翻译： 用于与具有或不具有成形电荷效应的目标（10）对抗的弹药单元，其包括可打开或可拆卸和可更换的船体或外壳（2）。 弹药单元中的爆炸物包括具有成形充电功能的充电部分（3），其布置成能够在弹药单元中采取两个可自由选择的位置中的任一个，其中第一个使电荷发挥其成形充电功能，并且 其中第二个禁用成形充电功能，并且能够触发不同的效果。