公开(公告)号：US20110212551A1

公开(公告)日：2011-09-01

申请号：US13033796

申请日：2011-02-24

申请人： Shigeyuki MARUYAMA ,  Yoshihiro Sekizawa ,  Tomohiro Suzuka

发明人： Shigeyuki MARUYAMA ,  Yoshihiro Sekizawa ,  Tomohiro Suzuka

IPC分类号： H01L21/66 ,  G01R31/20

CPC分类号： G01R1/06761

摘要： A contactor includes a contactor base material including a first material and a conductor film including a second material. The conductor film is formed only on a contact surface with an electrode of a semiconductor apparatus at a tip of the contactor film.

摘要翻译： 接触器包括包括第一材料和包括第二材料的导体膜的接触器基材。 导体膜仅在与接触器膜的尖端处的半导体装置的电极的接触表面上形成。

公开(公告)号：US08766659B2

公开(公告)日：2014-07-01

申请号：US13033796

申请日：2011-02-24

申请人： Shigeyuki Maruyama ,  Yoshihiro Sekizawa ,  Tomohiro Suzuka

发明人： Shigeyuki Maruyama ,  Yoshihiro Sekizawa ,  Tomohiro Suzuka

IPC分类号： G01R1/067 ,  G01R31/20

CPC分类号： G01R1/06761

摘要： A contactor includes a contactor base material including a first material and a conductor film including a second material. The conductor film is formed only on a contact surface with an electrode of a semiconductor apparatus at a tip of the contactor film.

摘要翻译： 接触器包括包括第一材料和包括第二材料的导体膜的接触器基材。 导体膜仅在与接触器膜的尖端处的半导体装置的电极的接触表面上形成。