公开(公告)号：US08411281B2

公开(公告)日：2013-04-02

申请号：US13301988

申请日：2011-11-22

申请人： Tomoki Tanemura ,  Yukihiro Takeuchi ,  Takao Iwaki ,  Megumi Suzuki

发明人： Tomoki Tanemura ,  Yukihiro Takeuchi ,  Takao Iwaki ,  Megumi Suzuki

IPC分类号： G01B9/02

CPC分类号： G01J3/26

摘要： A Fabry-Perot interferometer includes a fixed mirror structure and a movable mirror structure. The fixed mirror structure has a fixed mirror in a spectral region. The movable mirror structure includes a membrane spaced from the fixed mirror structure. The membrane has a movable mirror in the spectral region and multiple springs arranged one inside the other around the spectral region. A spring constant of the inner spring is less than a spring constant of the outer spring. One of the fixed mirror structure and the membrane has multiple electrodes, and the other of the fixed mirror structure and the membrane has at least one electrode that is paired with the electrodes to form opposing electrode pairs arranged one inside the other around the spectral region. The number of the opposing electrode pairs is equal to the number of the springs.

摘要翻译： 法布里 - 珀罗干涉仪包括固定镜结构和可移动镜结构。 固定镜结构在光谱区域具有固定的反射镜。 可移动镜结构包括与固定镜结构间隔开的膜。 膜在光谱区域具有可移动反射镜，并且在光谱区域周围布置有多个弹簧。 内弹簧的弹簧常数小于外弹簧的弹簧常数。 固定镜结构和膜中的一个具有多个电极，固定镜结构和膜中的另一个具有至少一个与电极成对的电极，以在光谱区域周围形成相对的电极对。 相对电极对的数量等于弹簧的数量。

公开(公告)号：US20120127482A1

公开(公告)日：2012-05-24

申请号：US13301988

申请日：2011-11-22

申请人： Tomoki TANEMURA ,  Yukihiro TAKEUCHI ,  Takao IWAKI ,  Megumi SUZUKI

发明人： Tomoki TANEMURA ,  Yukihiro TAKEUCHI ,  Takao IWAKI ,  Megumi SUZUKI

IPC分类号： G01B9/02

CPC分类号： G01J3/26

摘要： A Fabry-Perot interferometer includes a fixed mirror structure and a movable mirror structure. The fixed mirror structure has a fixed mirror in a spectral region. The movable mirror structure includes a membrane spaced from the fixed mirror structure. The membrane has a movable mirror in the spectral region and multiple springs arranged one inside the other around the spectral region. A spring constant of the inner spring is less than a spring constant of the outer spring. One of the fixed mirror structure and the membrane has multiple electrodes, and the other of the fixed mirror structure and the membrane has at least one electrode that is paired with the electrodes to form opposing electrode pairs arranged one inside the other around the spectral region. The number of the opposing electrode pairs is equal to the number of the springs.

摘要翻译： 法布里 - 珀罗干涉仪包括固定镜结构和可移动镜结构。 固定镜结构在光谱区域具有固定的反射镜。 可移动镜结构包括与固定镜结构隔开的膜。 膜在光谱区域具有可移动反射镜，并且在光谱区域周围布置有多个弹簧。 内弹簧的弹簧常数小于外弹簧的弹簧常数。 固定镜结构和膜中的一个具有多个电极，固定镜结构和膜中的另一个具有至少一个与电极成对的电极，以在光谱区域周围形成相对的电极对。 相对电极对的数量等于弹簧的数量。