公开(公告)号：US07463422B2

公开(公告)日：2008-12-09

申请号：US11657925

申请日：2007-01-25

申请人： Vladimir Kamenow ,  Daniel Kraehmer ,  Michael Totzeck ,  Toralf Gruner ,  Aurelian Dodoc ,  David Shafer ,  Wilhelm Ulrich ,  Rudolf von Buenau ,  Hans-Juergen Mann ,  Alexander Epple

发明人： Vladimir Kamenow ,  Daniel Kraehmer ,  Michael Totzeck ,  Toralf Gruner ,  Aurelian Dodoc ,  David Shafer ,  Wilhelm Ulrich ,  Rudolf von Buenau ,  Hans-Juergen Mann ,  Alexander Epple

IPC分类号： G02B17/00

CPC分类号： G02B27/0012 ,  G02B1/02 ,  G02B17/08 ,  G03F7/70225 ,  G03F7/70966 ,  G03F7/70975

摘要： A method of determining materials of lenses contained in an optical system of a projection exposure apparatus is described. First, for each lens of a plurality of the lenses, a susceptibility factor KLT/LH is determined. This factor is a measure of the susceptibility of the respective lens to deteriorations caused by at least one of lifetime effects and lens heating effects. Then a birefringent fluoride crystal is selected as a material for each lens for which the susceptibility factor KLT/LH is above a predetermined threshold. Theses lenses are assigned to a first set of lenses. For these lenses, measures are determined for reducing adverse effects caused by birefringence inherent to the fluoride crystals.

摘要翻译： 描述了确定投影曝光装置的光学系统中所包含的透镜的材料的方法。 首先，对于多个透镜的每个透镜，确定敏感度因子KLT / LH。 该因子是由寿命效应和透镜加热效果中的至少一种引起的各透镜对恶化的敏感性的量度。 然后选择双折射氟化物晶体作为敏感度因子KLT / LH高于预定阈值的每个透镜的材料。 这些镜头被分配到第一组透镜。 对于这些透镜，确定了减少由氟化物晶体固有的双折射引起的不利影响的措施。