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    Catadioptric projection objective
    2.
    发明授权
    Catadioptric projection objective 有权
    反射折射投影物镜

    公开(公告)号：US08339701B2

    公开(公告)日：2012-12-25

    申请号：US12817628

    申请日：2010-06-17

    申请人： David Shafer ,  Wilhelm Ulrich ,  Aurelian Dodoc ,  Rudolf Von Buenau ,  Hans-Juergen Mann ,  Alexander Epple

    发明人： David Shafer ,  Wilhelm Ulrich ,  Aurelian Dodoc ,  Rudolf Von Buenau ,  Hans-Juergen Mann ,  Alexander Epple

    IPC分类号： G02B17/00 ,  G02B21/00

    CPC分类号： G02B17/0804 ,  G02B17/08 ,  G02B17/0812 ,  G02B17/0844 ,  G02B17/0856 ,  G02B17/0892 ,  G03F7/70225

    摘要： A catadioptric projection objective for imaging a pattern provided in an object plane of the projection objective onto an image plane of the projection objective comprises: a first objective part for imaging the pattern provided in the object plane into a first intermediate image; a second objective part for imaging the first intermediate imaging into a second intermediate image; a third objective part for imaging the second intermediate imaging directly onto the image plane; wherein a first concave mirror having a first continuous mirror surface and at least one second concave mirror having a second continuous mirror surface are arranged upstream of the second intermediate image; pupil surfaces are formed between the object plane and the first intermediate image, between the first and the second intermediate image and between the second intermediate image and the image plane; and all concave mirrors are arranged optically remote from a pupil surface. The system has potential for very high numerical apertures at moderate lens material mass consumption.

    摘要翻译： 用于将设置在投影物镜的物平面中的图案成像到投影物镜的像平面上的反射折射投射物镜包括：用于将设置在物平面中的图案成像为第一中间图像的第一物镜部分; 第二目标部分，用于将第一中间成像成像成第二中间图像; 用于将第二中间成像直接成像到图像平面上的第三目标部分; 其中具有第一连续镜面的第一凹面镜和具有第二连续镜面的至少一个第二凹面镜布置在所述第二中间图像的上游; 瞳孔表面形成在物平面与第一中间图像之间，第一和第二中间图像之间以及第二中间图像与图像平面之间; 并且所有凹面反射镜光学地远离光瞳表面布置。 该系统具有中等透镜材料质量消耗的非常高的数值孔径的潜力。

    Catoptric objectives and systems using catoptric objectives
    3.
    发明授权
    Catoptric objectives and systems using catoptric objectives 有权
    使用反射目标的目标和系统

    公开(公告)号：US08317345B2

    公开(公告)日：2012-11-27

    申请号：US13183823

    申请日：2011-07-15

    申请人： Hans-Juergen Mann ,  David Shafer ,  Wilhelm Ulrich

    发明人： Hans-Juergen Mann ,  David Shafer ,  Wilhelm Ulrich

    IPC分类号： G02B5/10

    CPC分类号： G03F7/70233 ,  G02B13/143 ,  G02B17/061 ,  G02B17/0652 ,  G02B17/0657

    摘要： In general, in one aspect, the invention features an objective arranged to image radiation from an object plane to an image plane, including a plurality of elements arranged to direct the radiation from the object plane to the image plane, wherein the objective has an image side numerical aperture of more than 0.55 and a maximum image side field dimension of more than 1 mm, and the objective is a catoptric objective.

    摘要翻译： 通常，在一个方面，本发明的特征在于设置成将从物体平面到图像平面的辐射成像的目标，包括布置成将来自物体平面的辐射引导到图像平面的多个元件，其中物镜具有图像 侧面数值孔径大于0.55，最大像侧场尺寸大于1 mm，目标是一个反射目标。

    CATADIOPTRIC PROJECTION OBJECTIVE
    5.
    发明申请
    CATADIOPTRIC PROJECTION OBJECTIVE 有权
    目标投影目标

    公开(公告)号：US20120274918A1

    公开(公告)日：2012-11-01

    申请号：US13495763

    申请日：2012-06-13

    申请人： David Shafer ,  Wilhelm Ulrich ,  Aurelian Dodoc ,  Rudolf Von Buenau ,  Hans-Juergen Mann ,  Alexander Epple

    发明人： David Shafer ,  Wilhelm Ulrich ,  Aurelian Dodoc ,  Rudolf Von Buenau ,  Hans-Juergen Mann ,  Alexander Epple

    IPC分类号： G02B17/08 ,  G03F7/20 ,  G03B27/70

    CPC分类号： G02B17/0804 ,  G02B17/08 ,  G02B17/0812 ,  G02B17/0844 ,  G02B17/0856 ,  G02B17/0892 ,  G03F7/70225

    摘要： A catadioptric projection objective for imaging a pattern onto an image plane includes: a first objective part for imaging the pattern into a first intermediate image; a second objective part for imaging the first intermediate image into a second intermediate image; and a third objective part for imaging the second intermediate image onto the image plane. A first concave mirror having a continuous mirror surface and a second concave mirror having a continuous mirror surface are upstream of the second intermediate image. A pupil surface is formed between the object plane and the first intermediate image, between the first and the second intermediate image, and between the second intermediate image and the image plane. A plate having essentially parallel plate surfaces is positioned in the first objective part near the pupil surface. At least one plate surface is aspherized to correct for aberrations.

    摘要翻译： 用于将图案成像到图像平面上的反射折射投射物镜包括：用于将图案成像为第一中间图像的第一物镜部分; 第二目标部分，用于将第一中间图像成像为第二中间图像; 以及用于将第二中间图像成像到图像平面上的第三目标部分。 具有连续镜面的第一凹面镜和具有连续镜面的第二凹面镜位于第二中间图像的上游。 在物平面和第一中间图像之间，在第一和第二中间图像之间以及在第二中间图像和图像平面之间形成瞳孔表面。 具有基本上平行的板表面的板被定位在瞳孔表面附近的第一物镜部分中。 至少一个板表面被挤压以校正像差。

    IMAGING OPTICS
    6.
    发明申请
    IMAGING OPTICS 审中-公开
    成像光学

    公开(公告)号：US20120274917A1

    公开(公告)日：2012-11-01

    申请号：US13482794

    申请日：2012-05-29

    申请人： Hans-Juergen Mann ,  Martin Endres ,  David Shafer ,  Berndt Warm ,  Alois Herkommer

    发明人： Hans-Juergen Mann ,  Martin Endres ,  David Shafer ,  Berndt Warm ,  Alois Herkommer

    IPC分类号： G03B27/70 ,  G03B27/32 ,  G02B17/06

    CPC分类号： G03F7/70233 ,  G02B17/0652 ,  G03F7/702 ,  G03F7/70275

    摘要： An imaging optics is provided for lithographic projection exposure for guiding a bundle of imaging light with a wavelength shorter than 193 nm via a plurality of mirrors for beam-splitter-free imaging of a reflective object in an object field in an object plane into an image field in an image plane. An object field point has a central ray angle which is smaller than 3°. At least one of the mirrors is a near-field mirror. The imaging optics which can allow for high-quality imaging of a reflective object.

    摘要翻译： 提供了一种用于光刻投影曝光的成像光学装置，用于通过多个反射镜引导波长短于193nm的成像光束，用于在物体平面中的物体场中的反射物体成像成图像 场中的图像平面。 物体场点具有小于3°的中心射线角度。 至少一个镜子是近场镜。 成像光学元件可以允许反射物体的高质量成像。

    CATOPTRIC OBJECTIVES AND SYSTEMS USING CATOPTRIC OBJECTIVES
    7.
    发明申请
    CATOPTRIC OBJECTIVES AND SYSTEMS USING CATOPTRIC OBJECTIVES 有权
    使用目标目标的CATOPR目标和系统

    公开(公告)号：US20110273791A1

    公开(公告)日：2011-11-10

    申请号：US13183823

    申请日：2011-07-15

    申请人： Hans-Jurgen Mann ,  David Shafer ,  Wilhelm Ulrich

    发明人： Hans-Jurgen Mann ,  David Shafer ,  Wilhelm Ulrich

    IPC分类号： G02B17/02

    CPC分类号： G03F7/70233 ,  G02B13/143 ,  G02B17/061 ,  G02B17/0652 ,  G02B17/0657

    摘要： In general, in one aspect, the invention features an objective arranged to image radiation from an object plane to an image plane, including a plurality of elements arranged to direct the radiation from the object plane to the image plane, wherein the objective has an image side numerical aperture of more than 0.55 and a maximum image side field dimension of more than 1 mm, and the objective is a catoptric objective.

    摘要翻译： 通常，在一个方面，本发明的特征在于设置成将从物体平面到图像平面的辐射成像的目标，包括布置成将来自物体平面的辐射引导到图像平面的多个元件，其中物镜具有图像 侧面数值孔径大于0.55，最大像侧场尺寸大于1 mm，目标是一个反射目标。

    Catadioptric Projection Objective With Mirror Group
    8.
    发明申请
    Catadioptric Projection Objective With Mirror Group 有权
    反射折射投影目标与镜组

    公开(公告)号：US20110261444A1

    公开(公告)日：2011-10-27

    申请号：US11578101

    申请日：2005-04-07

    申请人： Alexander Epple ,  Wilhelm Ulrich ,  Aurelian Dodoc ,  Hans-Juergen Mann ,  David Shafer

    发明人： Alexander Epple ,  Wilhelm Ulrich ,  Aurelian Dodoc ,  Hans-Juergen Mann ,  David Shafer

    IPC分类号： G02B17/08

    CPC分类号： G02B17/0804 ,  G02B17/0808 ,  G02B17/0812 ,  G02B17/0816 ,  G02B17/0836 ,  G02B17/0844 ,  G02B17/0848 ,  G02B17/086 ,  G02B17/0892 ,  G03F7/70058 ,  G03F7/70225 ,  G03F7/70275 ,  G03F7/70341

    摘要： A catadioptric projection objective for imaging an off-axis object field arranged in an object surface of the projection objective onto an off-axis image field arranged in an image surface of the projection objective has a front lens group, a mirror group comprising four mirrors and having an object side mirror group entry, an image side mirror group exit, and a mirror group plane aligned transversly to the optical axis and arranged geometrically between the mirror group entry and the mirror group exit; and a rear lens group. The mirrors of the mirror group are arranged such that at least one intermediate image is positioned inside the mirror group between mirror group entry and mirror group exit, and that radiation coming from the mirror group entry passes at least four times through the mirror group plane and is reflected at least twice on a concave mirror surface of the mirror group prior to exiting the mirror group at the mirror group exit. The mirror group entry is positioned in a region where radiation exiting the front lens group has an entry chief ray height. A second reflecting area is positioned in a region where radiation impinging on the second mirror has a second chief ray height deviating from the entry chief ray height in a first direction; and a fourth reflecting area is positioned in a region where radiation impinging on the fourth mirror has a fourth chief ray height deviating from the entry chief ray height in a second direction opposite to the first direction.

    摘要翻译： 用于将布置在投影物镜的物体表面中的离轴物体场成像到布置在投影物镜的图像表面中的离轴图像场的反射折射投射物镜具有前透镜组，包括四个反射镜的镜组和 具有物体侧反射镜组入口，图像侧反射镜组出口和反射镜组平面，其横向对准光轴并几何地布置在反射镜组入口和反射镜组出口之间; 和后透镜组。 反射镜组的镜子被布置成使得至少一个中间图像位于反射镜组入口和反射镜组出口之间的反射镜组内，并且来自镜组入口的辐射至少穿过镜组平面四次， 在镜组出口处离开镜组之前，在镜组的凹面镜面上反射至少两次。 反射镜组入口位于离开前透镜组的辐射具有入射主光线高度的区域中。 第二反射区域位于辐射入射在第二反射镜上的第一主光线高度偏离第一方向上的入射光线高度的区域中; 并且第四反射区域位于与第一反射镜相反的第二方向上具有偏离入射光线高度的第四主光线高度的入射在第四反射镜上的辐射区域。

    OPTICAL IMAGING SYSTEM WITH CATOPTRIC OBJECTIVE; BROADBAND OBJECTIVE WITH MIRROR; AND REFRACTIVE LENSES AND BROADBAND OPTICAL IMAGING SYSTEM HAVING TWO OR MORE IMAGING PATHS
    9.
    发明申请
    OPTICAL IMAGING SYSTEM WITH CATOPTRIC OBJECTIVE; BROADBAND OBJECTIVE WITH MIRROR; AND REFRACTIVE LENSES AND BROADBAND OPTICAL IMAGING SYSTEM HAVING TWO OR MORE IMAGING PATHS 有权
    具有目标目标的光学成像系统; 宽带目标与镜子; 和具有两个或更多成像片的折射镜和宽带光学成像系统

    公开(公告)号：US20110242528A1

    公开(公告)日：2011-10-06

    申请号：US12750488

    申请日：2010-03-30

    申请人： Shiow-Hwei Hwang ,  Gregory L. Kirk ,  Hwan J. Jeong ,  David Shafer ,  Russell Hudyma

    发明人： Shiow-Hwei Hwang ,  Gregory L. Kirk ,  Hwan J. Jeong ,  David Shafer ,  Russell Hudyma

    IPC分类号： G01N21/88 ,  G02B17/08

    CPC分类号： G02B17/084 ,  G01N21/9501 ,  G03F1/84

    摘要： An optical system may include an objective having at least four mirrors including an outermost mirror with aspect ratio 0.7, central obscuration 0.7 and field of view >0.8 mm. An optical imaging system may comprise an objective and two or more imaging paths. The imaging paths may provide two or more simultaneous broadband images of a sample in two or more modes. The modes may have different illumination and/or collection pupil apertures or different pixel sizes at the sample.

    摘要翻译： 光学系统可以包括具有至少四个反射镜的物镜，其包括具有纵横比<20:1的最外镜和包括折射光学元件的聚焦光学元件。 该目标提供数值孔径> 0.7，瞳孔中心遮蔽<35％的成像。 物镜可以具有两个或更多个反射镜，一个具有折射模块的反射镜，该折射模块密封最外镜的中心开口。 宽带成像系统可以包括一个物镜和两个或更多个在数值孔径> 0.7和视场> 0.8mm处提供成像的成像路径。 光学成像系统可以包括物镜和两个或更多个成像路径。 成像路径可以以两种或更多种模式提供样本的两个或更多个同时宽带图像。 这些模式可以在样品处具有不同的照明和/或收集光瞳孔径或不同的像素尺寸。