公开(公告)号：US06633693B1

公开(公告)日：2003-10-14

申请号：US09817238

申请日：2001-03-27

申请人： David R. Peale ,  Walter Framski ,  Lih Lin

发明人： David R. Peale ,  Walter Framski ,  Lih Lin

IPC分类号： G02B642

CPC分类号： G02B6/3582 ,  G02B6/3512 ,  G02B6/3556

摘要： A temperature control system is provided for an optical switch including steerable micro-mirrors. The system includes at least one sensor and associated sensing circuitry for measuring the temperature of a micro-mirror or a region of a substrate near a micro-mirror. The system also includes a controller that responds to a signal provided by the sensing circuitry. The controller response may include activating heating or cooling devices the region that is sensed to adjust the temperature of the region.

摘要翻译： 提供了一种用于包括可转向微镜的光学开关的温度控制系统。 该系统包括至少一个传感器和相关联的感测电路，用于测量微反射镜的温度或微镜附近的基板的区域。 该系统还包括响应由感测电路提供的信号的控制器。 控制器响应可以包括激活加热或冷却装置，感测的区域以调节该区域的温度