公开(公告)号：US6129496A

公开(公告)日：2000-10-10

申请号：US35921

申请日：1998-03-06

申请人： Junji Iwasaki ,  Junichi Katsube ,  Yasushi Itami

发明人： Junji Iwasaki ,  Junichi Katsube ,  Yasushi Itami

IPC分类号： B65G1/00 ,  B65G1/137 ,  B65G49/07 ,  G05D1/02 ,  H01L21/00 ,  H01L21/677 ,  B65H1/00

CPC分类号： H01L21/67294 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67724 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67769 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/14

摘要： A stocker used in a semiconductor wafer cassette transportation apparatus comprises a plurality of stockers for storing a plurality of semiconductor wafer cassettes. Each stocker comprises manual output and input ports for exit and entry of semiconductor wafer cassettes by an operator, in which each port has an ID card reader/writer arranged lower than the bottom surface of the cassette and facing a communication arrangement at the bottom surface of an ID card attached on the side surface of a cassette. An automatic carrier transports cassettes between stockers and a processing apparatus, and an inter-stocker transport device transports cassettes between stockers. The number of semiconductor wafer cassettes that can be mounted on the manual output port is determined according to the maximum number of semiconductor wafer cassettes requested to be loaded by the processing apparatus. An embodiment of the invention includes automatic carrier input and output ports. An outer shield door arrangement for various ports of the stocker prevents intrusion of foreign objects.

摘要翻译： 在半导体晶片盒输送装置中使用的储料器包括用于存储多个半导体晶片盒的多个储料器。 每个储料器包括手动输出和输入端口，用于由操作者离开和进入半导体晶片盒，其中每个端口具有布置成低于盒的底表面的ID读卡器/写入器，并且面向位于 安装在盒子侧表面上的身份证。 自动载架在储料器和处理装置之间输送盒，并且储存间运输装置在储料器之间输送盒。 可以根据要求由处理装置加载的半导体晶片盒的最大数量来确定可以安装在手动输出端口上的半导体晶片盒的数量。 本发明的实施例包括自动载波输入和输出端口。 用于储存器各个端口的外屏蔽门装置防止异物侵入。

公开(公告)号：US6151533A

公开(公告)日：2000-11-21

申请号：US36196

申请日：1998-03-06

申请人： Junji Iwasaki ,  Junichi Katsube ,  Yasushi Itami

发明人： Junji Iwasaki ,  Junichi Katsube ,  Yasushi Itami

IPC分类号： B65G1/00 ,  B65G1/137 ,  B65G49/07 ,  G05D1/02 ,  H01L21/00 ,  H01L21/677 ,  G06F7/00

CPC分类号： H01L21/67294 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67724 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67769 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/14

摘要： According to a collation method of stocker storage in a semiconductor wafer cassette transportation apparatus having high semiconductor wafer cassette transportation ability, a host computer responds to an instruction from an operator to interrogate a stocker controller about storage of a semiconductor wafer cassette in a stocker. The stocker controller receiving the interrogation reports storage of a semiconductor wafer cassette in a stocker to the host computer. When the storage information retained by the host computer differs from the storage information reported from the stocker controller, the host computer provides a display of the discrepancy in storage information on an operator's terminal.

摘要翻译： 根据具有高半导体晶片盒运输能力的半导体晶片盒运送装置中的储料器储存的核对方法，主计算机响应于来自操作者的指令来询问储料器控制器关于储存器中的半导体晶片盒的存储。 接收询问的储料器控制器将储存器中的半导体晶片盒的存储报告给主计算机。 当由主计算机保存的存储信息与存储器控制器报告的存储信息不同时，主计算机提供操作者终端上的存储信息中的差异的显示。

公开(公告)号：US6050768A

公开(公告)日：2000-04-18

申请号：US35818

申请日：1998-03-06

申请人： Junji Iwasaki ,  Junichi Katsube ,  Yasushi Itami

发明人： Junji Iwasaki ,  Junichi Katsube ,  Yasushi Itami

IPC分类号： B65G1/00 ,  B65G1/137 ,  B65G49/07 ,  G05D1/02 ,  H01L21/00 ,  H01L21/677 ,  G06F19/00

CPC分类号： H01L21/67294 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67724 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67769 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/14

摘要： According to an automatic carrier control method of a semiconductor wafer cassette transportation apparatus having high semiconductor wafer cassette transportation ability, an automatic carrier carries a semiconductor wafer cassette to an automatic carrier related inlet port of a stocker under control of a host computer. The automatic carrier confirms whether a semiconductor wafer cassette is left on the inlet port. If there is no preceding semiconductor wafer cassette, a semiconductor wafer cassette is placed on the inlet port. If there is a preceding semiconductor wafer cassette, the automatic carrier waits for a predetermined time at inlet port for the preceding semiconductor wafer cassette to be removed. When the preceding semiconductor wafer cassette is not removed at an elapse of a predetermined time, an error is issued to the automatic carrier.

摘要翻译： 根据具有高半导体晶片盒输送能力的半导体晶片盒输送装置的自动载体控制方法，在主计算机的控制下，自动载体将半导体晶片盒携带到储料器的自动载体相关入口端口。 自动载体确认半导体晶片盒是否留在入口上。 如果没有先前的半导体晶片盒，则将半导体晶片盒放置在入口上。 如果存在先前的半导体晶片盒，则自动载体等待在先前的半导体晶片盒的入口处的预定时间被去除。 当前一半导体晶片盒在预定时间过去不被去除时，向自动载体发出错误。

公开(公告)号：US06169935A

公开(公告)日：2001-01-02

申请号：US09035920

申请日：1998-03-06

申请人： Junji Iwasaki ,  Junichi Katsube ,  Yasushi Itami

发明人： Junji Iwasaki ,  Junichi Katsube ,  Yasushi Itami

IPC分类号： G06F700

CPC分类号： H01L21/67294 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67724 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67769 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/14

摘要： In a stocker entry task control method employed in a semiconductor wafer cassette transportation apparatus that has high transportation ability of a semiconductor wafer cassette, a host computer sends an interrogation to a stocker in which a semiconductor wafer cassette is to be stored whether there is an available storage site therein. The stocker ascertains the storage site if available. Then, the host computer sends a transportation task instruction to an inter-stocker transport device or an automatic carrier. Alternatively, an entry task instruction is sent to the stocker.

摘要翻译： 在具有高半导体晶片盒的运送能力的半导体晶片盒输送装置中采用的储料器进入任务控制方法中，主计算机向要存储半导体晶片盒的储料器发送询问是否存在可用 储存地点。 储存者确定存储地点（如果有的话）。 然后，主计算机向存储器间运输装置或自动载体发送运输任务指令。 或者，进入任务指令被发送给储料器。