专利检索 ap:"Young-Guk Bae" 第 1 页

1.

发明授权
Overlay key, method of manufacturing the same and method of measuring an overlay degree using the same 有权
标题翻译：重叠键，其制造方法以及使用其重叠度测量方法

公开(公告)号：US07282422B2

公开(公告)日：2007-10-16

申请号：US11175441

申请日：2005-07-07

申请人： Kyoung-Yoon Baek , Young-Guk Bae

发明人： Kyoung-Yoon Baek , Young-Guk Bae

IPC分类号： H01L21/76 , H01L21/46

CPC分类号： G03F7/70633 , H01L23/544 , H01L2223/54453 , H01L2924/0002 , H01L2924/00

摘要： An overlay key includes a first overlay key having a first main overlay pattern and a first auxiliary pattern, and a second overlay key having a second main overlay pattern and a second auxiliary overlay pattern, the second auxiliary overlay pattern formed at a location corresponding to the first auxiliary overlay pattern.

摘要翻译： 覆盖键包括具有第一主覆盖图案和第一辅助图案的第一覆盖键，以及具有第二主覆盖图案和第二辅助覆盖图案的第二覆盖键，所述第二辅助覆盖图案形成在对应于第一辅助覆盖图案。

2.

发明申请
Overlay key, method of manufacturing the same and method of measuring an overlay degree using the same 有权
标题翻译：重叠键，其制造方法以及使用其重叠度测量方法

公开(公告)号：US20050242448A1

公开(公告)日：2005-11-03

申请号：US11175441

申请日：2005-07-07

申请人： Kyoung-Yoon Baek , Young-Guk Bae

发明人： Kyoung-Yoon Baek , Young-Guk Bae

IPC分类号： G03F1/42 , G03F7/20 , G03F9/00 , H01L21/027 , H01L21/66 , H01L23/544 , G09B15/02

CPC分类号： G03F7/70633 , H01L23/544 , H01L2223/54453 , H01L2924/0002 , H01L2924/00

摘要： An overlay key includes a first overlay key having a first main overlay pattern and a first auxiliary pattern, and a second overlay key having a second main overlay pattern and a second auxiliary overlay pattern, the second auxiliary overlay pattern formed at a location corresponding to the first auxiliary overlay pattern.

摘要翻译： 覆盖键包括具有第一主覆盖图案和第一辅助图案的第一覆盖键，以及具有第二主覆盖图案和第二辅助覆盖图案的第二覆盖键，所述第二辅助覆盖图案形成在对应于第一辅助覆盖图案。

3.

发明授权
Overlay key, method of manufacturing the same and method of measuring an overlay degree using the same 有权

公开(公告)号：US06936931B2

公开(公告)日：2005-08-30

申请号：US10043329

申请日：2002-01-14

申请人： Kyoung-Yoon Baek , Young-Guk Bae

发明人： Kyoung-Yoon Baek , Young-Guk Bae

IPC分类号： G03F1/42 , G03F7/20 , G03F9/00 , H01L21/027 , H01L21/66 , H01L23/544 , G03B27/00 , G03C5/00

CPC分类号： G03F7/70633 , H01L23/544 , H01L2223/54453 , H01L2924/0002 , H01L2924/00

摘要： An overlay key includes a first overlay key having a first main overlay pattern and a first auxiliary pattern, and a second overlay key having a second main overlay pattern and a second auxiliary overlay pattern, the second auxiliary overlay pattern formed at a location corresponding to the first auxiliary overlay pattern.