公开(公告)号：US20150264791A1

公开(公告)日：2015-09-17

申请号：US14418366

申请日：2013-07-05

Applicant: ASML Netherlands B.V.

Inventor： Andrey Nikipelov ,  Frederik Dijksman ,  Mikhailovich Yakunin

IPC: H05G2/00

CPC classification number: H05G2/008 ,  H05G2/003 ,  H05G2/005 ,  H05G2/006

Abstract: A method for generating radiation. Directing a first body from a first location. Directing a second body from a second, different location. The first body and second body being used to form a target at a plasma formation location. At least one of the first body and second body comprising a fuel for use in generating a radiation generating plasma. Directing initiating radiation at the target at the plasma formation location to generate a radiation generating plasma from the target.

Abstract translation: 一种产生辐射的方法。 从第一个位置引导第一个身体。 从第二个不同的位置引导第二个身体。 用于在等离子体形成位置形成靶的第一体和第二体。 第一主体和第二主体中的至少一个包括用于产生辐射产生等离子体的燃料。 引导在等离子体形成位置处的目标处的发射辐射以产生来自靶的辐射产生等离子体。