公开(公告)号：US5926266A

公开(公告)日：1999-07-20

申请号：US710805

申请日：1996-09-23

申请人： Alan D. Dorundo ,  Michael Gerard Lisanke ,  Huizong Lu ,  Richard J. McCormick ,  Lanphuong Thi Pena ,  Eric V. Schnetzer ,  Ali Reza Taheri

发明人： Alan D. Dorundo ,  Michael Gerard Lisanke ,  Huizong Lu ,  Richard J. McCormick ,  Lanphuong Thi Pena ,  Eric V. Schnetzer ,  Ali Reza Taheri

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01B11/06 ,  G01B11/30 ,  G01N21/95 ,  G01J21/00

CPC分类号： G01B11/0608 ,  G01B9/02019 ,  G01B9/02048 ,  G01B9/02068 ,  G01N21/9506 ,  G01B2290/70

摘要： Apparatus for inspecting the surface of a sample includes a wide scanning interferometer, which is used to locate defects, or anomalies in the surface, and a narrow scanning interferometer, which is used to develop profiles of individual defects found by the narrow scanning interferometer. The sample may be driven in rotation about an axis, while the interferometers are independently moved radially to the axis.

摘要翻译： 用于检查样品表面的装置包括用于定位缺陷或表面异常的宽扫描干涉仪和用于形成由窄扫描干涉仪发现的各个缺陷的轮廓的窄扫描干涉仪。 样品可以围绕轴线旋转驱动，而干涉仪独立地径向移动到轴线。