公开(公告)号：US09093598B2

公开(公告)日：2015-07-28

申请号：US13861537

申请日：2013-04-12

申请人： BTU International, Inc.

发明人： Paul J. Richter ,  Frank Bottari

IPC分类号： H01L21/38 ,  H01L21/22 ,  H01L31/18 ,  H01L21/225

CPC分类号： H01L31/1804 ,  H01L21/2255 ,  H01L31/0288 ,  H01L31/18 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

摘要： A method is provided for the simultaneous diffusion of dopants of different types on respective sides of a solar cell wafer in a single stage process. The dopants are applied to respective sides of the wafer in wet chemical form preferably by pad printing. The doping materials can be applied to the entire wafer surface or effective area thereof, or can be applied in a pattern to suit the intended solar cell configuration. In a typical embodiment, the dopants are boron and phosphorus.

摘要翻译： 提供了一种用于在单级工艺中在太阳能电池晶片的相应侧面上同时扩散不同类型的掺杂剂的方法。 掺杂剂优选通过垫印刷以湿化学形式施加到晶片的相应侧。 可以将掺杂材料施加到整个晶片表面或其有效面积，或者可以以图案施加以适应预期的太阳能电池配置。 在典型的实施方案中，掺杂剂是硼和磷。