公开(公告)号：US09307625B2

公开(公告)日：2016-04-05

申请号：US14110048

申请日：2012-04-02

申请人： Bob Rollinger ,  Reza Abhari ,  Andrea Giovannini ,  Ian Henderson

发明人： Bob Rollinger ,  Reza Abhari ,  Andrea Giovannini ,  Ian Henderson

IPC分类号： H05G2/00 ,  B05B1/02 ,  B05B17/06

CPC分类号： H05G2/008 ,  B05B1/02 ,  B05B17/0623 ,  H05G2/005 ,  H05G2/006

摘要： A droplet dispensing device includes a reservoir for receiving a liquid material, an outlet nozzle in fluid communication with the reservoir and a piezoelectric actuating means acting on the liquid material at the outlet nozzle to exit the outlet nozzle in a sequence of droplets. A piezoelectric actuating means that includes a piston, which is actuated by a piezoelectric actuator at one end and dips the other, free end into the liquid material is provided just upstream of the outlet nozzle.

摘要翻译： 液滴分配装置包括用于接收液体材料的储存器，与储存器流体连通的出口喷嘴和在出口喷嘴处作用在液体材料上的压电致动装置，以一系列液滴离开出口喷嘴。 压电致动装置包括一个活塞，该活塞由一端的压电致动器致动并将另一个自由端浸入液体材料中，恰好在出口喷嘴的上游。

公开(公告)号：US20140151582A1

公开(公告)日：2014-06-05

申请号：US14110048

申请日：2012-04-02

申请人： Bob Rollinger ,  Reza Abhari ,  Andrea Giovannini ,  Ian Henderson

发明人： Bob Rollinger ,  Reza Abhari ,  Andrea Giovannini ,  Ian Henderson

IPC分类号： H05G2/00

CPC分类号： H05G2/008 ,  B05B1/02 ,  B05B17/0623 ,  H05G2/005 ,  H05G2/006

摘要： A droplet dispensing device includes a reservoir for receiving a liquid material, an outlet nozzle in fluid communication with the reservoir and a piezoelectric actuating means acting on the liquid material at the outlet nozzle to exit the outlet nozzle in a sequence of droplets. A piezoelectric actuating means that includes a piston, which is actuated by a piezoelectric actuator at one end and dips the other, free end into the liquid material is provided just upstream of the outlet nozzle.

摘要翻译： 液滴分配装置包括用于接收液体材料的储存器，与储存器流体连通的出口喷嘴和作用在出口喷嘴处的液体材料上的按照一系列液滴离开出口喷嘴的压电致动装置。 压电致动装置包括一个活塞，该活塞由一端的压电致动器致动并将另一个自由端浸入液体材料中，恰好在出口喷嘴的上游。

公开(公告)号：US08723147B2

公开(公告)日：2014-05-13

申请号：US13262184

申请日：2010-03-25

申请人： Reza Abhari ,  Andrea Giovannini ,  Bob Rollinger ,  Davide Bleiner

发明人： Reza Abhari ,  Andrea Giovannini ,  Bob Rollinger ,  Davide Bleiner

IPC分类号： H05G2/00 ,  G21K5/00

CPC分类号： G03F7/70916 ,  G03F7/70908 ,  G03F7/70983

摘要： The extreme ultraviolet light source comprises a production site capable of producing extreme ultraviolet radiation in a laser-produced plasma (3), and a collector optics (6) for collimating the extreme ultraviolet radiation. A pressurized influx of gas forms a gas curtain between the production site and the collector optics (6) in order to protect the collector optics (6) from debris (4) generated at the production site. The gas influx is directed in a way that it follows the surface of the collector optics (6). By thus shielding the collector optics (6) from the debris (4) its lifetime is enhanced. The shielding gas can further be used for cooling the collector optics (6).

摘要翻译： 极紫外光源包括能够在激光产生的等离子体（3）中产生极紫外辐射的生产部位和用于准直极紫外辐射的收集器光学器件（6）。 加压的气体流入在生产部位和收集器光学器件（6）之间形成气幕，以保护收集器光学元件（6）免受在生产现场产生的碎屑（4）的影响。 气体流入以其沿着收集器光学器件（6）的表面的方式引导。 通过如此屏蔽收集器光学元件（6）与碎片（4），其使用寿命得到提高。 保护气体还可用于冷却收集器光学器件（6）。