公开(公告)号：US20020167734A1

公开(公告)日：2002-11-14

申请号：US10114919

申请日：2002-04-03

申请人： Carl Zeiss Semiconductor Manfacturing Technologies AG

发明人： Karl-Heinz Schuster

IPC分类号： G02B027/14 ,  G02B027/12

CPC分类号： G02B17/0892 ,  G02B17/08 ,  G03F7/70225

摘要： There is provided a catadioptric projection objective that includes (a) an object plane having a rectangular object field, and (b) a beam splitter situated in a light path after the object plane, having a rectangular surface adapted to the object field and having an aspect ratio not equal to 1.

摘要翻译： 提供了一种反折射投射物镜，其包括（a）具有矩形物体场的物平面，以及（b）位于物平面之后的光路中的分束器，具有适于物场的矩形表面，并具有 长宽比不等于1。