公开(公告)号：US06809848B2

公开(公告)日：2004-10-26

申请号：US09872306

申请日：2001-06-01

申请人： Charles D Carr ,  Lu Fang ,  Dhiraj H Malkani

发明人： Charles D Carr ,  Lu Fang ,  Dhiraj H Malkani

IPC分类号： G02B2608

CPC分类号： G02B6/357 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3584 ,  G02B2006/12104

摘要： The invention is a device and method of fabrication where an array of electrostatically activated members of (e.g., movable mirrors) formed in a layer comprising silicon is mounted over a ceramic substrate. The substrate includes conductors formed on a major surface and in via holes formed in the substrate. The conductors are positioned so as to selectively operate the array of mirrors.

摘要翻译： 本发明是一种制造装置和方法，其中在包括硅的层中形成的（例如可移动反射镜）的静电激活部件阵列安装在陶瓷基板上。 基板包括形成在主表面上的导体和形成在基板中的通孔。 导体被定位成选择性地操作反射镜阵列。