公开(公告)号：US06964718B2

公开(公告)日：2005-11-15

申请号：US09993284

申请日：2001-11-16

申请人： Clive A. Randall ,  Amanda L. Baker ,  Yi Fang ,  Thomas Shrout ,  Alfons Kelnberger

发明人： Clive A. Randall ,  Amanda L. Baker ,  Yi Fang ,  Thomas Shrout ,  Alfons Kelnberger

IPC分类号： H01L41/047 ,  H01L41/083 ,  H01L41/24 ,  C04B37/00 ,  C04B33/32

CPC分类号： H01L41/0477 ,  H01L41/083 ,  H01L41/273 ,  Y10T29/42

摘要： Co-fired multilayer piezoelectric ceramic materials with base metal electrodes based on copper, copper alloy, are found as an effective approach to manufacture low cost multilayer piezoelectrics. The method of the invention is performed at low firing temperature and without the oxidation of base metal or reduction of ceramic components. A variety of ceramic materials may be used and copper is the preferred base metal in the multi-layer piezoelectric devices of the invention. This copper has additional protection against oxidation with a small inorganic coating on the surface. With such protection, the binder and other organics can also be efficiently removed and produce superior performance in the piezoelectric structured devices.

摘要翻译： 发现具有基于铜，铜合金的基底金属电极的共烧多层压电陶瓷材料是制造低成本多层压电体的有效方法。 本发明的方法是在低烧制温度下进行的，而不会贱金属的氧化或陶瓷组分的还原。 在本发明的层叠型压电元件中，可以使用各种陶瓷材料，铜是优选的基体金属。 该铜具有额外的保护，防止表面上的小的无机涂层的氧化。 通过这样的保护，还可以有效地去除粘合剂和其它有机物并在压电结构的装置中产生优异的性能。

公开(公告)号：US20070164630A1

公开(公告)日：2007-07-19

申请号：US11333753

申请日：2006-01-17

申请人： Shujun Zhang ,  Thomas Shrout

发明人： Shujun Zhang ,  Thomas Shrout

IPC分类号： H01L41/00

CPC分类号： H01L41/18

摘要： Piezoelectric devices with excellent high temperature operation capabilities are described, including piezoelectric sensors and actuators that use a rare earth calcium oxyborate or langanite as the piezoelectric material.

摘要翻译： 描述了具有优异的高温操作能力的压电器件，包括使用稀土硼酸钙或硅镁矿作为压电材料的压电传感器和致动器。