公开(公告)号：US20080086440A1

公开(公告)日：2008-04-10

申请号：US11678882

申请日：2007-02-26

申请人： David W. HOEY ,  Christopher T. CONLEY

发明人： David W. HOEY ,  Christopher T. CONLEY

IPC分类号： G06N7/08

CPC分类号： G03F7/70975 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70508

摘要： An automated signature detection system and method of use and, more particularly, a predictive modeling component configured to accurately predict maintenance events for optical elements used in lithographic tools. The system comprises at least one module configured to analyze data associated with power illumination at a surface. The at least one module also is configured to fit a curve to the analyzed data using an exponentially based decay model.

摘要翻译： 一种自动签名检测系统及其使用方法，更具体地说，一种预测建模部件，其被配置为准确地预测用于光刻工具的光学元件的维护事件。 该系统包括被配置为分析与表面上的功率照明相关联的数据的至少一个模块。 至少一个模块还被配置为使用基于指数的衰减模型将曲线拟合到所分析的数据。