公开(公告)号：US06772781B2

公开(公告)日：2004-08-10

申请号：US09764424

申请日：2001-01-19

申请人： Dean L. Doty ,  Yan Xu ,  Stephen Chesters ,  Ben R. Hall ,  Roger Q. Petton ,  Thomas P. Ross ,  Charles A. White ,  Reginald Wynne

发明人： Dean L. Doty ,  Yan Xu ,  Stephen Chesters ,  Ben R. Hall ,  Roger Q. Petton ,  Thomas P. Ross ,  Charles A. White ,  Reginald Wynne

IPC分类号： E03B100

CPC分类号： G05D11/138 ,  G05D11/132 ,  Y10T137/0329 ,  Y10T137/0363 ,  Y10T137/2509 ,  Y10T137/87249 ,  Y10T137/87692

摘要： Provided are apparatuses and methods for mixing gases. The apparatuses are suitable for use in the manufacture of an electronic device. The apparatuses include a gas mixing manifold. A first, bulk gas source is connected to introduce a flow of a first gas to the manifold. A second gas source is connected to introduce a flow of a second gas to the manifold. The first and second gases are mixed in the manifold, thereby forming a gas mixture. A conduit is connected to one or more point of use for introducing a flow of the gas mixture thereto. The present invention is particularly applicable in the semiconductor manufacturing industry.

摘要翻译： 提供了用于混合气体的装置和方法。 这些装置适用于制造电子装置。 这些装置包括气体混合歧管。 连接第一体积气体源以将第一气体的流动引入歧管。 第二气体源被连接以将第二气体的流动引入歧管。 第一和第二气体在歧管中混合，从而形成气体混合物。 导管连接到一个或多个使用点以将气体混合物的流引入其中。 本发明特别适用于半导体制造业。