公开(公告)号：US20100162756A1

公开(公告)日：2010-07-01

申请号：US12303796

申请日：2007-06-15

申请人： Denis Clodic ,  Fabrice Delcorso ,  Jean-Pierre Tranier ,  Golo Zick

发明人： Denis Clodic ,  Fabrice Delcorso ,  Jean-Pierre Tranier ,  Golo Zick

IPC分类号： F25J3/00

CPC分类号： F25J3/00 ,  F16L59/141 ,  F25J3/04945

摘要： A cryogenic installation unit comprises at least one item of equipment (2, 6A to 6H, 15) to be thermally insulated, a structure (1) for containing the at least one item of equipment, a main insulation (3) contained in the structure and, associated with this main insulation, a secondary insulation (5) of lower thermal conductivity than the main insulation, said secondary insulation (5) consisting of a vacuum insulation panel.

摘要翻译： 低温安装单元包括要进行绝热的至少一件设备（2,6A至6H，15），用于容纳至少一件设备的结构（1），包含在该结构中的主绝缘体（3） 并且与该主绝缘体相关联的具有比主绝缘体更低热导率的次级绝缘（5），所述次级绝缘（5）由真空绝热板组成。

公开(公告)号：US08528362B2

公开(公告)日：2013-09-10

申请号：US12303796

申请日：2007-06-15

申请人： Denis Clodic ,  Fabrice Delcorso ,  Jean-Pierre Tranier ,  Golo Zick

发明人： Denis Clodic ,  Fabrice Delcorso ,  Jean-Pierre Tranier ,  Golo Zick

IPC分类号： F25J3/00 ,  F17C3/08 ,  F17C13/00 ,  F25D23/12

CPC分类号： F25J3/00 ,  F16L59/141 ,  F25J3/04945

摘要： A cryogenic installation unit comprises at least one item of equipment (2, 6A to 6H, 15) to be thermally insulated, a structure (1) for containing the at least one item of equipment, a main insulation (3) contained in the structure and, associated with this main insulation, a secondary insulation (5) of lower thermal conductivity than the main insulation, said secondary insulation (5) consisting of a vacuum insulation panel.

摘要翻译： 低温安装单元包括要进行绝热的至少一件设备（2,6A至6H，15），用于容纳至少一件设备的结构（1），包含在该结构中的主绝缘体（3） 并且与该主绝缘体相关联的具有比主绝缘体更低热导率的次级绝缘（5），所述次级绝缘（5）由真空绝热板组成。

公开(公告)号：US20080242912A1

公开(公告)日：2008-10-02

申请号：US11942361

申请日：2007-11-19

申请人： Olivier Letessier ,  Richard J. Udischas ,  James J.F. McAndrew ,  Regis Zils ,  Fabrice Delcorso ,  Rajat Agrawal

发明人： Olivier Letessier ,  Richard J. Udischas ,  James J.F. McAndrew ,  Regis Zils ,  Fabrice Delcorso ,  Rajat Agrawal

IPC分类号： C07C7/12 ,  B01D35/30 ,  B01D35/18

CPC分类号： C07C7/12 ,  C07C2521/18 ,  C07C11/24

摘要： Methods and apparatus for the purification and distribution of acetylene. Acetylene is removed from an acetylene storage device, and provided to a purifier where solvent is removed. The purified acetylene is then provided to a semiconductor processing tool.

摘要翻译： 乙炔净化和分配的方法和装置。 将乙炔从乙炔储存装置中除去，并提供给去除溶剂的净化器。 然后将纯化的乙炔提供给半导体加工工具。