公开(公告)号：US08415189B2

公开(公告)日：2013-04-09

申请号：US12512779

申请日：2009-07-30

申请人： Doowon Kwon ,  Seung-Hun Shin

发明人： Doowon Kwon ,  Seung-Hun Shin

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： H01L27/14603 ,  H01L27/14609 ,  H01L27/1463 ,  H01L27/14689

摘要： Image sensors include a pixel region and a logic region. Pixel isolation regions in the pixel region include pixel isolation region walls that are less sloped than logic isolation region walls in the logic region. An impurity layer also may be provided adjacent at least some of the pixel isolation region walls, wherein at least some of the logic isolation region walls are free of the impurity layer. The impurity layer and/or the less sloped logic isolation region walls may also be provided for NMOS devices in the logic region but not for PMOS devices in the logic region. Doped sacrificial layers may be used to fabricate the impurity layer.

摘要翻译： 图像传感器包括像素区域和逻辑区域。 像素区域中的像素隔离区域包括比逻辑区域中的逻辑隔离区域壁更少倾斜的像素隔离区域壁。 也可以在至少一些像素隔离区域壁附近提供杂质层，其中至少一些逻辑隔离区域壁不含杂质层。 也可以为逻辑区域中的NMOS器件提供杂质层和/或较小倾斜的逻辑隔离区域壁，但不提供给逻辑区域中的PMOS器件。 可以使用掺杂的牺牲层来制造杂质层。

公开(公告)号：US20100015747A1

公开(公告)日：2010-01-21

申请号：US12512779

申请日：2009-07-30

申请人： Doowon Kwon ,  Seung-Hun Shin

发明人： Doowon Kwon ,  Seung-Hun Shin

IPC分类号： H01L31/18

CPC分类号： H01L27/14603 ,  H01L27/14609 ,  H01L27/1463 ,  H01L27/14689

摘要： Image sensors include a pixel region and a logic region. Pixel isolation regions in the pixel region include pixel isolation region walls that are less sloped than logic isolation region walls in the logic region. An impurity layer also may be provided adjacent at least some of the pixel isolation region walls, wherein at least some of the logic isolation region walls are free of the impurity layer. The impurity layer and/or the less sloped logic isolation region walls may also be provided for NMOS devices in the logic region but not for PMOS devices in the logic region. Doped sacrificial layers may be used to fabricate the impurity layer.

摘要翻译： 图像传感器包括像素区域和逻辑区域。 像素区域中的像素隔离区域包括比逻辑区域中的逻辑隔离区域壁更少倾斜的像素隔离区域壁。 也可以在至少一些像素隔离区域壁附近提供杂质层，其中至少一些逻辑隔离区域壁不含杂质层。 也可以为逻辑区域中的NMOS器件提供杂质层和/或较小倾斜的逻辑隔离区域壁，但不提供给逻辑区域中的PMOS器件。 可以使用掺杂的牺牲层来制造杂质层。

公开(公告)号：US20080035963A1

公开(公告)日：2008-02-14

申请号：US11668016

申请日：2007-01-29

申请人： Doowon Kwon ,  Seung-Hun Shin

发明人： Doowon Kwon ,  Seung-Hun Shin

IPC分类号： H01L31/113

CPC分类号： H01L27/14603 ,  H01L27/14609 ,  H01L27/1463 ,  H01L27/14689

摘要： Image sensors include a pixel region and a logic region. Pixel isolation regions in the pixel region include pixel isolation region walls that are less sloped than logic isolation region walls in the logic region. An impurity layer also may be provided adjacent at least some of the pixel isolation region walls, wherein at least some of the logic isolation region walls are free of the impurity layer. The impurity layer and/or the less sloped logic isolation region walls may also be provided for NMOS devices in the logic region but not for PMOS devices in the logic region. Doped sacrificial layers may be used to fabricate the impurity layer.

摘要翻译： 图像传感器包括像素区域和逻辑区域。 像素区域中的像素隔离区域包括比逻辑区域中的逻辑隔离区域壁更少倾斜的像素隔离区域壁。 也可以在至少一些像素隔离区域壁附近提供杂质层，其中至少一些逻辑隔离区域壁不含杂质层。 也可以为逻辑区域中的NMOS器件提供杂质层和/或较小倾斜的逻辑隔离区域壁，但不提供给逻辑区域中的PMOS器件。 可以使用掺杂的牺牲层来制造杂质层。

公开(公告)号：US07586170B2

公开(公告)日：2009-09-08

申请号：US11668016

申请日：2007-01-29

申请人： Doowon Kwon ,  Seung-Hun Shin

发明人： Doowon Kwon ,  Seung-Hun Shin

IPC分类号： H01L31/00 ,  H01L31/062

CPC分类号： H01L27/14603 ,  H01L27/14609 ,  H01L27/1463 ,  H01L27/14689

摘要： Image sensors include a pixel region and a logic region. Pixel isolation regions in the pixel region include pixel isolation region walls that are less sloped than logic isolation region walls in the logic region. An impurity layer also may be provided adjacent at least some of the pixel isolation region walls, wherein at least some of the logic isolation region walls are free of the impurity layer. The impurity layer and/or the less sloped logic isolation region walls may also be provided for NMOS devices in the logic region but not for PMOS devices in the logic region. Doped sacrificial layers may be used to fabricate the impurity layer.

摘要翻译： 图像传感器包括像素区域和逻辑区域。 像素区域中的像素隔离区域包括比逻辑区域中的逻辑隔离区域壁更少倾斜的像素隔离区域壁。 也可以在至少一些像素隔离区域壁附近提供杂质层，其中至少一些逻辑隔离区域壁不含杂质层。 也可以为逻辑区域中的NMOS器件提供杂质层和/或较小倾斜的逻辑隔离区域壁，但不提供给逻辑区域中的PMOS器件。 可以使用掺杂的牺牲层来制造杂质层。