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发明申请
Subsurface Reticle 审中-公开
标题翻译：地下光罩

公开(公告)号：US20080165406A1

公开(公告)日：2008-07-10

申请号：US11885785

申请日：2006-03-09

申请人： Ehud Galun , Nisim Hadar , Alon Tavory , Israel Vilenchik , Ephraim Argaman , Gidon Slosberg , Moshe Toker , Yosef Kigel , Guy Ben-Zvi , Rami Cohen , Vladimir Dmitriev , Sergey Oshemkov

发明人： Ehud Galun , Nisim Hadar , Alon Tavory , Israel Vilenchik , Ephraim Argaman , Gidon Slosberg , Moshe Toker , Yosef Kigel , Guy Ben-Zvi , Rami Cohen , Vladimir Dmitriev , Sergey Oshemkov

IPC分类号： G02F1/00 , G02B27/02

CPC分类号： G02B27/32

摘要： A reticle device is disclosed, comprising a transparent substrate provided with subsurface reticle design inscribed within the substrate.

摘要翻译： 公开了一种掩模版设备，其包括设置有内接在衬底内的地下掩模版设计的透明衬底。