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    System and method for automatic virtual metrology
    1.
    发明授权
    System and method for automatic virtual metrology 有权
    自动虚拟计量的系统和方法

    公开(公告)号：US08095484B2

    公开(公告)日：2012-01-10

    申请号：US12207706

    申请日：2008-09-10

    申请人： Fan-Tien Cheng ,  Hsien-Cheng Huang ,  Yi-Ting Huang ,  Jia-Mau Jian

    发明人： Fan-Tien Cheng ,  Hsien-Cheng Huang ,  Yi-Ting Huang ,  Jia-Mau Jian

    IPC分类号： G06F15/18

    CPC分类号： G05B19/41875 ,  Y02P90/18 ,  Y02P90/22

    摘要： A server, a system and a method for automatic virtual metrology (AVM) are disclosed. The AVM system comprises a model-creation server and a plurality of AVM servers. The model-creation server is used to construct the first set of virtual metrology (VM) models (of a certain equipment type) including a VM conjecture model, a RI (Reliance Index) model, a GSI (Global Similarity Index) model, a DQIx (Process Data Quality Index) model, and a DQIy (Metrology Data Quality Index) model. In the AVM method, the model-creation server also can fan out or port the first set of VM models generated to other AVM servers of the same process apparatus (equipment) type, and each individual fan-out-acceptor's AVM server can perform automatic model refreshing processes so as to gain and maintain its VM models' accuracy.

    摘要翻译： 公开了一种用于自动虚拟计量（AVM）的服务器，系统和方法。 AVM系统包括模型创建服务器和多个AVM服务器。 模型创建服务器用于构建第一组虚拟计量（VM）模型（某种设备类型），包括VM推测模型，RI（Reliance Index）模型，GSI（全球相似度指数）模型， DQIx（过程数据质量指数）模型和DQIy（计量数据质量指数）模型。 在AVM方法中，模型创建服务器还可以扇出或移植生成给相同处理设备（设备）类型的其他AVM服务器的第一组VM模型，并且每个独立的扇出接收器的AVM服务器可以执行自动 模型刷新过程，以获得和维护其VM模型的准确性。

    System and Method for Automatic Virtual Metrology
    2.
    发明申请
    System and Method for Automatic Virtual Metrology 有权
    自动虚拟计量系统与方法

    公开(公告)号：US20090292386A1

    公开(公告)日：2009-11-26

    申请号：US12207706

    申请日：2008-09-10

    申请人： Fan-Tien Cheng ,  Hsien-Cheng Huang ,  Yi-Ting Huang ,  Jia-Mau Jian

    发明人： Fan-Tien Cheng ,  Hsien-Cheng Huang ,  Yi-Ting Huang ,  Jia-Mau Jian

    IPC分类号： G06F19/00 ,  G06F17/50

    CPC分类号： G05B19/41875 ,  Y02P90/18 ,  Y02P90/22

    摘要： A server, a system and a method for automatic virtual metrology (AVM) are disclosed. The AVM system comprises a model-creation server and a plurality of AVM servers. The model-creation server is used to construct the first set of virtual metrology (VM) models (of a certain equipment type) including a VM conjecture model, a RI (Reliance Index) model, a GSI (Global Similarity Index) model, a DQIx (Process Data Quality Index) model, and a DQIy (Metrology Data Quality Index) model. In the AVM method, the model-creation server also can fan out or port the first set of VM models generated to other AVM servers of the same process apparatus (equipment) type, and each individual fan-out-acceptor's AVM server can perform automatic model refreshing processes so as to gain and maintain its VM models' accuracy.

    摘要翻译： 公开了一种用于自动虚拟计量（AVM）的服务器，系统和方法。 AVM系统包括模型创建服务器和多个AVM服务器。 模型创建服务器用于构建第一组虚拟计量（VM）模型（某种设备类型），包括VM推测模型，RI（Reliance Index）模型，GSI（全球相似度指数）模型， DQIx（过程数据质量指数）模型和DQIy（计量数据质量指数）模型。 在AVM方法中，模型创建服务器还可以扇出或移植生成给相同处理设备（设备）类型的其他AVM服务器的第一组VM模型，并且每个独立的扇出接收器的AVM服务器可以执行自动 模型刷新过程，以获得和维护其VM模型的准确性。

    Fence structure
    3.
    发明申请
    Fence structure 审中-公开
    围栏结构

    公开(公告)号：US20080277639A1

    公开(公告)日：2008-11-13

    申请号：US11798201

    申请日：2007-05-11

    申请人： Yi-Ting Huang

    发明人： Yi-Ting Huang

    IPC分类号： E04H17/16

    CPC分类号： E04H17/168

    摘要： An improved fence structure includes two bases, two assembling rods, two positioning fitting heads and one fence plate. Several screwing members may pass through the base. The base has a center formed with a connection portion through which the assembling rod may be inserted. The assembling rod has several rabbet slots. The fence plate has two lateral sides formed with connection portions, which may be correspondingly embedded into the rabbet slots of the assembling rod for positioning. The center of the positioning fitting head is formed with a fitting hole to fit with an end portion of the assembling rod. Thus, many fence plates may be used to define various angular areas.

    摘要翻译： 改进的围栏结构包括两个基座，两个装配杆，两个定位装配头和一个挡板。 一些螺纹构件可以穿过底座。 底座具有形成有连接部分的中心，组装杆可以穿过该连接部分插入。 组装杆有几个拉头槽。 围栏板具有形成有连接部分的两个横向侧面，其可以相应地嵌入到用于定位的组装杆的拉拔槽中。 定位配合头的中心形成有与组装杆的端部配合的装配孔。 因此，可以使用许多挡板来限定各种角度区域。

    Plate-like soil-fixation plastic plate
    4.
    发明申请
    Plate-like soil-fixation plastic plate 审中-公开
    板状土固定塑料板

    公开(公告)号：US20080276527A1

    公开(公告)日：2008-11-13

    申请号：US11798203

    申请日：2007-05-11

    申请人： Yi-Ting Huang

    发明人： Yi-Ting Huang

    IPC分类号： A01G9/02

    CPC分类号： A01G9/20

    摘要： A plate-like soil-fixation plastic plate is a rigid sheet-like body made of a weather-resistant composite plastic material and has a surface formed with several reinforcement ribs, which are integrally formed with the body in a crisscrossed manner to enhance the intensity of the plate. Two lateral sides of the plate are formed with several assembling holes. Four soil-fixation plastic plates of the invention may be assembled together using several connecting components to form a partitioning frame having open top and bottom ends to facilitate the planting.

    摘要翻译： 板状的土壤固定塑料板是由耐候复合塑料材料制成的刚性片状体，并且具有形成有多个加强筋的表面，其以交叉方式与身体整体形成以增强强度 的盘子。 板的两个侧面形成有多个组装孔。 本发明的四个土壤固定塑料板可以使用多个连接部件组装在一起，以形成具有开口的顶部和底部的分隔框架，以便于种植。