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1.

发明授权
Resist forming method 失效
标题翻译：抗蚀剂成型方法

公开(公告)号：US2919179A

公开(公告)日：1959-12-29

申请号：US58603356

申请日：1956-05-21

申请人： HALOID XEROX INC

发明人： WAGNER EDWARD M VAN

IPC分类号： G03G15/16 , H05K3/06

CPC分类号： H05K3/065 , G03G15/1625 , H05K2203/0517 , H05K2203/0537 , Y10S101/37