公开(公告)号：US07773235B2

公开(公告)日：2010-08-10

申请号：US12216514

申请日：2008-07-07

申请人： Haico Victor Kok ,  Koen Kivits ,  Ron Van de Laak ,  Johannes Maria Kuiper ,  Gerbrand Van der Zouw ,  Hoite P Theodoor Tolsma

发明人： Haico Victor Kok ,  Koen Kivits ,  Ron Van de Laak ,  Johannes Maria Kuiper ,  Gerbrand Van der Zouw ,  Hoite P Theodoor Tolsma

IPC分类号： G01B11/14

CPC分类号： G03F7/70666 ,  G03F7/709 ,  G03F9/7096

摘要： The invention provides a method for determining vibration-related information by projecting an aerial image at an image position in a projection plane, mapping an intensity of the aerial image into an image map, the image map arranged for comprising values of coordinates of sampling locations and of the intensity sampled at each sampling location, and measuring intensity of the aerial image received through a slot pattern. The method further includes determining from the image map a detection position of a slope portion of the image map, at the detection position of the slope portion, measuring of a temporal intensity of the aerial image and measuring of relative positions of the slot pattern and the image position, the relative positions of the slot being measured as position-related data of the slot pattern and determining from the temporal intensity of the aerial image vibration-related information for said aerial image.

摘要翻译： 本发明提供了一种用于通过在投影平面中的图像位置处投射空中图像来确定振动相关信息的方法，将空间图像的强度映射到图像映射中，该图像映射被布置为包括采样位置的坐标值， 在每个采样位置采样的强度，以及测量通过槽模式接收的空间图像的强度。 该方法还包括从图像映射确定图像映射的斜率部分的检测位置，在斜率部分的检测位置处，测量空中图像的时间强度，以及测量狭槽图案的相对位置和 图像位置，将被测量的时隙的相对位置作为时隙图案的位置相关数据，并根据所述空间图像的空间图像振动相关信息的时间强度确定。