公开(公告)号：US20110284745A1

公开(公告)日：2011-11-24

申请号：US13099544

申请日：2011-05-03

申请人： Hidetoshi Nishiyama ,  Nobuo Saotome ,  Mitsuo Suga

发明人： Hidetoshi Nishiyama ,  Nobuo Saotome ,  Mitsuo Suga

IPC分类号： G01N23/22 ,  G01N23/00 ,  G21K5/08

CPC分类号： H01J37/20 ,  G01N23/2204 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2004

摘要： A sample holder, inspection apparatus, and an inspection method using the sample holder having a film including a first surface and a second surface. A liquid sample may be held on the first surface. The film is made of two or more layers. A primary beam irradiation device is installed in a reduced-pressure space. Consequently, the sample can be observed or inspected while maintaining the sample at the atmospheric pressure.

摘要翻译： 使用具有包括第一表面和第二表面的膜的样品保持器的样品保持器，检查装置和检查方法。 液体样品可以保持在第一表面上。 该片由两层或多层制成。 主光束照射装置安装在减压空间中。 因此，可以在将样品保持在大气压力的同时观察或检查样品。