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公开(公告)号：US20090062934A1
公开(公告)日：2009-03-05
申请号：US12181764
申请日：2008-07-29
CPC分类号： G01B15/00 , G05B2219/31215
摘要： There is provided a recipe generation apparatus and method for reducing the time required to reflect an optimal value and changed value in an input file by automatically reflecting a value obtained by optimizing an input file for recipe generation in the input file for recipe generation. This invention eliminates the inconvenience of manually reflecting changes in an input file for recipe generation by automatically reflecting changed values in the input file for recipe generation after editing a provisionally generated off-line recipe and achieves a reduction in processing time. This invention also provides a method for automatically generating an off-line recipe and a file for recipe generation from a recipe of a scanning electron microscope (see FIG. 3).
摘要翻译： 提供了一种食谱生成装置和方法，用于通过自动反映通过优化用于配方生成的输入文件中的食谱生成的输入文件获得的值来减少反映输入文件中的最佳值和变化值所需的时间。 本发明通过在编辑临时生成的离线配方之后自动反映用于配方生成的输入文件中的改变值，并且实现了处理时间的缩短，从而消除了手动反映输入文件中用于配方生成的变化的不便。 本发明还提供了一种用于根据扫描电子显微镜的配方（参见图3）自动生成离线配方和用于配方生成的文件的方法。
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公开(公告)号：US08189040B2
公开(公告)日：2012-05-29
申请号：US12181764
申请日：2008-07-29
CPC分类号： G01B15/00 , G05B2219/31215
摘要： There is provided a recipe generation apparatus and method for reducing the time required to reflect an optimal value and changed value in an input file by automatically reflecting a value obtained by optimizing an input file for recipe generation in the input file for recipe generation. This invention eliminates the inconvenience of manually reflecting changes in an input file for recipe generation by automatically reflecting changed values in the input file for recipe generation after editing a provisionally generated off-line recipe and achieves a reduction in processing time. This invention also provides a method for automatically generating an off-line recipe and a file for recipe generation from a recipe of a scanning electron microscope (see FIG. 3).
摘要翻译： 提供了一种食谱生成装置和方法，用于通过自动反映通过优化用于配方生成的输入文件中的食谱生成的输入文件而获得的值来减少反映输入文件中的最佳值和变化值所需的时间。 本发明通过在编辑临时生成的离线配方之后自动反映用于配方生成的输入文件中的改变值，并且实现了处理时间的缩短，从而消除了手动反映输入文件中用于配方生成的变化的不便。 本发明还提供了一种用于根据扫描电子显微镜的配方（参见图3）自动生成离线配方和用于配方生成的文件的方法。
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公开(公告)号：US20130234019A1
公开(公告)日：2013-09-12
申请号：US13988547
申请日：2011-11-22
CPC分类号： G02B21/0016 , G03F9/7003 , G03F9/7092 , H01J37/222
摘要： In order to provide a technique for performing global alignment (detecting position shift and rotation of a wafer) stably and automatically using an optical microscope, as a pattern for global alignment, multiple alignment pattern candidates are calculated (107), multiple data for matching are created for each alignment pattern (108), matching is performed with respect to the data for matching for each alignment pattern in descending order of appropriateness as an alignment pattern with an image (113) based on an image signal from the optical microscope (114), and the amount of position shift and the amount of rotation of the wafer are calculated (116) on the basis of the results of matching (115).
摘要翻译： 为了提供使用光学显微镜稳定自动地进行全局对准（检测位置偏移和晶片旋转）的技术，作为全局对准的图案，计算多个取向图案候选（107），用于匹配的多个数据 根据来自光学显微镜（114）的图像信号，针对每个对准图案（108）创建匹配，以相对于每个对齐图案的匹配数据，以适当的顺序作为与图像（113）的对准图案进行匹配， ，并且基于匹配结果（115）计算晶片的位置偏移量和旋转量（116）。
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公开(公告)号：US09057873B2
公开(公告)日：2015-06-16
申请号：US13988547
申请日：2011-11-22
CPC分类号： G02B21/0016 , G03F9/7003 , G03F9/7092 , H01J37/222
摘要： In order to provide a technique for performing global alignment (detecting position shift and rotation of a wafer) stably and automatically using an optical microscope, as a pattern for global alignment, multiple alignment pattern candidates are calculated (107), multiple data for matching are created for each alignment pattern (108), matching is performed with respect to the data for matching for each alignment pattern in descending order of appropriateness as an alignment pattern with an image (113) based on an image signal from the optical microscope (114), and the amount of position shift and the amount of rotation of the wafer are calculated (116) on the basis of the results of matching (115).
摘要翻译： 为了提供使用光学显微镜稳定自动地进行全局对准（检测位置偏移和晶片旋转）的技术，作为全局对准的图案，计算多个取向图案候选（107），用于匹配的多个数据 根据来自光学显微镜（114）的图像信号，针对每个对准图案（108）创建匹配，以相对于每个对齐图案的匹配数据，以适当的顺序作为与图像（113）的对准图案进行匹配， ，并且基于匹配结果（115）计算晶片的位置偏移量和旋转量（116）。
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