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    Micro-actuation element provided with torsion bars
    3.
    发明申请
    Micro-actuation element provided with torsion bars 有权
    配有扭杆的微动元件

    公开(公告)号：US20050200986A1

    公开(公告)日：2005-09-15

    申请号：US11101519

    申请日：2005-04-08

    申请人： Osamu Tsuboi ,  Yoshihiro Mizuno ,  Satoshi Ueda ,  Ippei Sawaki ,  Hisao Okuda ,  Fumio Yamagishi ,  Hiromitsu Soneda ,  Norinao Kouma

    发明人： Osamu Tsuboi ,  Yoshihiro Mizuno ,  Satoshi Ueda ,  Ippei Sawaki ,  Hisao Okuda ,  Fumio Yamagishi ,  Hiromitsu Soneda ,  Norinao Kouma

    IPC分类号： G02B26/08 ,  H02N1/00

    CPC分类号： G02B26/0841 ,  G02B26/085 ,  H02N1/008

    摘要： The micro-actuation element (X1) includes a movable unit (111), a frame (112) and a coupler (113) for connecting these, where the unit, the frame and the coupler are integrally formed in a material substrate having a multi-layer structure that consists of electroconductive layers (110a-110c), such as a core conduction layer (110b), and insulation layers (110d, 110e) intervening between the electroconductive layers (110a-110c). The movable unit (111) includes a first structure originating in the core conduction layer (110b). The frame (112) includes a second structure originating in the core conduction layer (110b). The coupler (113) includes a plurality of electrically separated torsion bars (113a, 113b) that originate in the core conduction layer (110b) and are connected continuously to the first structure and the second structure.

    摘要翻译： 微致动元件（X 1）包括可移动单元（111），框架（112）和用于连接它们的耦合器（113），其中单元，框架和耦合器一体形成在具有 由导电层（110a-110c），例如芯导电层（110b）和介于导电层（110a-110c）之间的绝缘层（110d，110e））组成的多层结构， 。 可移动单元（111）包括源于芯导电层（110b）的第一结构。 框架（112）包括源于芯导电层（110b）的第二结构。 耦合器（113）包括多个电分离的扭力杆（113a，113b），其产生在芯导电层（110b）中并连续地连接到第一结构和第二结构。

    Micro-actuation element provided with torsion bars
    8.
    发明授权
    Micro-actuation element provided with torsion bars 有权
    配有扭杆的微动元件

    公开(公告)号：US07751108B2

    公开(公告)日：2010-07-06

    申请号：US11987899

    申请日：2007-12-05

    申请人： Osamu Tsuboi ,  Yoshihiro Mizuno ,  Satoshi Ueda ,  Ippei Sawaki ,  Hisao Okuda ,  Fumio Yamagishi ,  Hiromitsu Soneda ,  Norinao Kouma

    发明人： Osamu Tsuboi ,  Yoshihiro Mizuno ,  Satoshi Ueda ,  Ippei Sawaki ,  Hisao Okuda ,  Fumio Yamagishi ,  Hiromitsu Soneda ,  Norinao Kouma

    IPC分类号： G02B26/08 ,  H02N1/00

    CPC分类号： G02B26/0841 ,  G02B26/085 ,  H02N1/008

    摘要： The micro-actuation element (X1) includes a movable unit (111), a frame (112) and a coupler (113) for connecting these, where the unit, the frame and the coupler are integrally formed in a material substrate having a multi-layer structure that consists of electroconductive layers (110a-110c), such as a core conduction layer (110b), and insulation layers (110d, 110e) intervening between the electroconductive layers (110a-110c). The movable unit (111) includes a first structure originating in the core conduction layer (110b). The frame (112) includes a second structure originating in the core conduction layer (110b). The coupler (113) includes a plurality of electrically separated torsion bars (113a, 113b) that originate in the core conduction layer (110b) and are connected continuously to the first structure and the second structure.

    摘要翻译： 微型致动元件（X1）包括可移动单元（111），框架（112）和用于连接它们的联接器（113），其中单元，框架和耦合器一体地形成在具有多个 由导电层（110a-110c）（例如芯导电层（110b））和介于导电层（110a-110c）之间的绝缘层（110d，110e）组成。 可移动单元（111）包括源于芯导电层（110b）的第一结构。 框架（112）包括源于芯导电层（110b）的第二结构。 耦合器（113）包括多个电分离的扭杆（113a，113b），其产生在芯导电层（110b）中并且连续地连接到第一结构和第二结构。

    Micro-actuation element provided with torsion bars
    9.
    发明申请
    Micro-actuation element provided with torsion bars 有权
    配有扭杆的微动元件

    公开(公告)号：US20080285108A1

    公开(公告)日：2008-11-20

    申请号：US11987899

    申请日：2007-12-05

    申请人： Osamu Tsuboi ,  Yoshihiro Mizuno ,  Satoshi Ueda ,  Ippei Sawaki ,  Hisao Okuda ,  Fumio Yamagishi ,  Hiromitsu Soneda ,  Norinao Kouma

    发明人： Osamu Tsuboi ,  Yoshihiro Mizuno ,  Satoshi Ueda ,  Ippei Sawaki ,  Hisao Okuda ,  Fumio Yamagishi ,  Hiromitsu Soneda ,  Norinao Kouma

    IPC分类号： G02B26/08 ,  H02N1/00

    CPC分类号： G02B26/0841 ,  G02B26/085 ,  H02N1/008

    摘要： The micro-actuation element (X1) includes a movable unit (111), a frame (112) and a coupler (113) for connecting these, where the unit, the frame and the coupler are integrally formed in a material substrate having a multi-layer structure that consists of electroconductive layers (110a-110c), such as a core conduction layer (110b), and insulation layers (110d, 110e) intervening between the electroconductive layers (110a-110c). The movable unit (111) includes a first structure originating in the core conduction layer (110b). The frame (112) includes a second structure originating in the core conduction layer (110b). The coupler (113) includes a plurality of electrically separated torsion bars (113a, 113b) that originate in the core conduction layer (110b) and are connected continuously to the first structure and the second structure.

    摘要翻译： 微致动元件（X 1）包括可移动单元（111），框架（112）和用于连接它们的耦合器（113），其中单元，框架和耦合器一体形成在具有 由导电层（110a-110c），例如芯导电层（110b）和介于导电层（110a-110c）之间的绝缘层（110d，110e））组成的多层结构， 。 可移动单元（111）包括源于芯导电层（110b）的第一结构。 框架（112）包括源于芯导电层（110b）的第二结构。 耦合器（113）包括多个电分离的扭力杆（113a，113b），其产生在芯导电层（110b）中并连续地连接到第一结构和第二结构。